Ar⁺ ion laser를 이용한 단결정/다결정 Si 식각 특성 분석

이현기 ,  박정호 ,  이천

대한전기학회 학술대회 논문집

1998 .11

단결정 및 다결정실리콘 압력센서의 온도특성 비교

박성준 ,  박세광

대한전기학회 학술대회 논문집

1995 .11

단결정 실리콘의 이방성 식각특성

천인호 ,  김환영 ,  조남인

대한전자공학회 학술대회

1997 .06

단결정 실리콘의 이방성 식각특성 ( Anisotropic Etching Property of Silicon-Crystal Silicon )

천인호 ,  김환영 ,  조남인

대한전자공학회 학술대회

1997 .07

플라즈마 식각방법에 의한 단결정 실리콘의 Two-Step 식각특성 ( Two-Step Etching Characteristics of Single-Si by the Plasma Etching Technique )

이진희 ,  박성호 ,  김말문 외 1명

전자공학회논문지

1987 .01

실리콘 마이크로머시닝을 위한 자기 정렬 특성을 갖는 새로운 실리콘 식각방법과 식각특성분석

李熙德 ,  金載官 ,  鄭訓周 외 1명

전기학회논문지

1996 .10

Single crystalline silicon RF MEMS switch for high power applications

황정기

대한전기학회 학술대회 논문집

2014 .10

MEMS기반 에너지 하베스터 제작을 위한 실리콘 KOH 식각 모형화

민철홍 ,  김태선 ,  강경우

전기전자재료학회논문지

2012 .01

플라즈마 식각 방법에 의한 단결성 실리콘의 Two-Step 식각 특성 ( Two-Step Etching Characteristics of Single-si by the Plasma Etching Technique )

이진희 ,  박성호 ,  남기수 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1985 .01

집속 아르곤 이온 레이저 빔을 이용한 실리콘 기판의 식각

鄭在訓 ,  李天 ,  朴政浩

전기학회논문지 C

1999 .04

레이저를 이용한 결정질 실리콘 태양전지 측면분리

권준영 ,  유진수 ,  유권종 외 3명

한국태양에너지학회 학술대회논문집

2010 .04

빠른 실리콘 식각에 대한 F₂/Ar 리모트 플라즈마와 N₂와NO 첨가효과

윤영배 ,  박성민 ,  이내응

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2006 .10

실리콘 마이크로 머시닝을 위한 2단계 전기화학적 실리콘 식각 방법 ( Two-Step Electrochemical Silicon Etching Method for Silicon Micromachining )

김재관 ,  이희덕 ,  한철희

대한전자공학회 학술대회

1996 .07

MEMS 소자용 단결정 실리콘과 다결정 실리콘 마이크로 인장 시편의 제조 및 특성

백정호 ,  박준식 ,  이혜진 외 2명

한국재료학회 학술발표대회

2007 .01

반응성 이온 건식식각에서 RF Power 변화에 따른 표면 조직화 개선 연구

송희은 ,  장효식 ,  박석기 외 3명

전기전자재료학회논문지

2016 .01

고밀도 플라즈마 식각에 의한 CoTb과 CoZrNb 박막의 식각 특성

신별 ,  박익현 ,  정지원

화학공학

2005 .01

BCl₃/Ar 식각 플라즈마에서의 이온 에너지 분포

김관하 ,  김창일

대한전기학회 학술대회 논문집

2005 .11

건식 식각에 의한 다결정 실리콘 초미세 패턴 형성에 관한 연구 ( A Study on the Dry Etching Characteristics of Ultra Fine Poly-Silicon Pattern )

도현호 ,  이석현 ,  황기웅

대한전자공학회 학술대회

1991 .11

건식 식각에 의한 다결정 실리콘 초미세 패턴 형성에 관한 연구

都眩昊 ,  李晳賢 ,  黃琪雄

전기학회논문지

1993 .12

유도결합형 BCl3/Ar 플라즈마를 이용한 Al2O3 박막의 식각 특성

김용근 ,  권광호

전기전자재료학회논문지

2011 .01