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저널정보
대한전기학회 대한전기학회 학술대회 논문집 1994년도 하계학술대회 논문집 C
발행연도
1994.7
수록면
1,268 - 1,270 (3page)

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이 논문의 연구 히스토리 (2)

1994

플라즈마 공중합 MMA - Styrene 박막의 E - beam 레지스트 특성
박종관 ,  이덕출 폴리머 1994.09 학술저널
플라즈마중합 (MMA-Sty-TMT) 박막의 레지스트 특성조사
박종관 ,  박상현 ,  박복기 외 3명 대한전기학회 학술대회 논문집 1994.07 학술대회자료

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목차

ABSTRACT
1. 서론
2. 실험방법
3. 결과 및 고찰
4. 결과
참고문헌

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