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이용수
Abstract
1. 서론
2. 새로운 측정방법
3. 간극센서 설계
4. 간극센서 제작
5. 실험 / 결과
6. 결론
참고문헌
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2012 .01
A High Resolution and Long Range MEMS Capacitive Displacement Sensor for Precision Scanning Stage
ITC-CSCC :International Technical Conference on Circuits Systems, Computers and Communications
2005 .07
MEMS 기술
기계저널
2007 .05
표면 탄성파 장치를 응용한 용량 성 변위센서의 설계 및 초정밀 간극 측정
한국소음진동공학회논문집
2010 .05
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