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한국소음진동공학회 한국소음진동공학회논문집 한국소음진동공학회논문집 제20권 제5호
발행연도
2010.5
수록면
437 - 443 (7page)

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이 논문의 연구 히스토리 (6)

2012

집중 소자를 이용한 표면 탄성파 장치 기반의 용량 성 센서 보정 및 이를 이용한 초정밀 간극 측정
김재근 ,  고병한 ,  박영필 외 1명 정보저장시스템학회논문집 2012.01 학술저널

2011

표면 탄성파 장치에 기반한 무선 간극 센서
김재근 ,  박경수 ,  박노철 외 4명 한국소음진동공학회논문집 2011.03 학술저널

2010

반사 신호를 이용한 용량 성 센서의 신호처리 및 이를 이용한 초정밀 간극 측정
김재근 ,  이택주 ,  임수철 외 4명 한국소음진동공학회 학술대회논문집 2010.10 학술대회자료
표면 탄성파 장치를 응용한 용량 성 변위센서의 설계 및 초정밀 간극 측정
김재근 ,  이택주 ,  임수철 외 3명 한국소음진동공학회논문집 2010.05 학술저널
표면 탄성파 장치 기반의 무선 간극 측정
김재근 ,  박경수 ,  박노철 외 4명 한국소음진동공학회 학술대회논문집 2010.04 학술대회자료

2009

표면 탄성파 장치를 이용한 용량성 부하의 신호처리 및 이를 이용한 초정밀 간극 측정
김재근 ,  이택주 ,  임수철 외 3명 한국소음진동공학회 학술대회논문집 2009.11 학술대회자료

초록· 키워드

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SAW device is widely used as band pass filters, chemical or physical sensors, and actuators. In this paper, we propose the capacitive gap measurement system with high precision using SAW device. The research process is mainly composed of theoretical and experimental part. In the theoretical part, equivalent circuit model was used to predict the SAW response by the change of load impedance. In the experimental part, commercialized capacitor was used to see the SAW response by the change of load capacitance to check the feasibility as a sensor unit. After that, experimental setup to measure and adjust the gap was made and the SAW response by the change of gap which caused the capacitance change was measured. Finally, resolution and stroke was decided compared with the signal change and basic measurement noise level.
#간극 측정 #센서 #정전용량성부하 #표면 탄성파 #Capacitive Load #Gap Measurement #Sensor #Surface Acoustic Wave(SAW)

목차

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1. [학술지(정기간행물)] - Bulst, W.-E / 2001 / State of the Art in Wireless Sensing with Surface Acoustic Waves / IEEE Transactions on Electronics 48 (2) : 265 ~ 270 google schola 2. [학술지(정기간행물)] - Tang, I.-T / 2003 / A Novel Integrable Surface Acoustic Wave Notch Filter / Solid-state Electronics 47 : 2063 ~ 2066 google schola 3. [학술지(정기간행물)] - Kondoh, J / 2008 / Development of Methanol Sensor Using a Shear Horizontal Surface Acoustic Wave Device for a Direct Methanol Fuel Cell / Sensors and Actuators B 129 : 575 ~ 580 google schola 4. [학술대회논문] - Atashbar, M. Z / 2004 / 3-D Finite-element Simulation Model of SAW Palladium Thin Film Hydrogen Sensor / IEEE International Ultrasonics, Ferroelectrics, and Frequency Control Joint 50th Anniversary Conference google schola 5. [단행본] - Osakabe, N / 1998 / Surface Acoustic Wave Motor Using Silicon Slider / Micro Electro Mechanical Systems : 390 ~ 395 google schola

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