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대한기계학회 대한기계학회 춘추학술대회 대한기계학회 2008년도 생산 및 설계공학부문 춘계학술대회 논문집
발행연도
2008.6
수록면
18 - 19 (2page)

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Two types of compact microwave plasma ion sources (MWPIS) for focused ion beam (FIB) have been developed. Cavity resonator type plasma ion source is subjected to make resonant electric field in order to ignite plasma efficiently. The optimum length of resonator and antenna, and position of quartz and antenna have been designed by both simple ... 전체 초록 보기
#Focused Ion Beam #Microwave Plasma Ion Source #Cavity Resonator #Insulated Antenna

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