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한국생산제조학회 한국생산제조학회 학술발표대회 논문집 한국공작기계학회 2005 춘계학술대회 논문집
발행연도
2005.5
수록면
19 - 23 (5page)

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In order to develop a high brightness ion source using plasma, the ion beam extraction system with an aperture of 100㎛ in diameter has been designed and constructed. It is observed that over 500nA of He ion beam current can be extracted. With such an optimized condition, ~10³ A/㎠sr beam brightness can be measured by emittance scanner, which is believed to be a promising result for developing next generation FIB.
#Plasma ion source #Focused ion beam #Brightness #Virtual source

목차

Abstract
1. 서론
2. 실험 방법 및 장치 구성
3. 실험 결과 및 분석
4. 결론 및 기대효과
후기
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