지원사업
학술연구/단체지원/교육 등 연구자 활동을 지속하도록 DBpia가 지원하고 있어요.
커뮤니티
연구자들이 자신의 연구와 전문성을 널리 알리고, 새로운 협력의 기회를 만들 수 있는 네트워킹 공간이에요.
논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술대회자료
- 저자정보
- 발행연도
- 2008.10
- 수록면
- 1,055 - 1,060 (6page)
이용수
초록· 키워드
오류제보하기
The position control of silicon wafer in the contacless electrostatic suspension system based on a delay controller is presented in this paper. The stability of the controller is completely analyzed. Sufficient conditions for stability including time delay and initial value of the suspended object are found. The critical time delay, maximum admissible value of time delay ensuring the stability of the system, which is depended only on suspended gap of the levitated object, is also shown in this paper. By using this control scheme, the amplitudes of vibration of suspended object are extremely reduced. In addition, the delay controller is a kind of switched-voltage control scheme, which uses only two high ? voltage power supplies to apply a DC voltages of positive or negative polarity to the electrode unit instead of employing high voltages amplifiers that are costly and bulky. Therefore, the cost of the suspension system is reduced significantly compared with conventional systems. This system can be used to handle objects in vacuum environment.
목차
Abstract
1. INTRODUCTION
2. PRINCIPLE OF OPERATION
3. DYNAMIC MODEL
4. DESIGN OF DELAY CONTROLLER
5. SIMULATION RESULT
6. EXPERIMENTAL RESULT
7. CONCLUSION
ACKNOWLEDGEMENTS
REFERENCES
참고문헌 (0)
참고문헌 신청함께 읽어보면 좋을 논문
논문 유사도에 따라 DBpia 가 추천하는 논문입니다. 함께 보면 좋을 연관 논문을 확인해보세요!
-
Simulation of Electrostatic Suspension System Based On Delay Controller for Use in Vacuum Environment
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2008 .06
-
Variable Structure Controller Design for Process with Time Delay
제어로봇시스템학회 국내학술대회 논문집
1993 .10
-
Active control of a flexible structure with time delay
Structural engineering and mechanics : An international journal
2005 .01
-
Active control of a nonlinear and hysteretic building structure with time delay
Structural engineering and mechanics : An international journal
2011 .01
-
시간지연 제어기를 이용한 쿼드로터 시스템의 자세제어의 실험적 연구
제어로봇시스템학회 논문지
2014 .04
-
TIME DELAYED CONTROLLER를 이용한 유압 시스템의 위치 제어
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
1992 .10
-
Stability Analysis for Time-Varying Positive Linear Systems with Delays
제어로봇시스템학회 국제학술대회 논문집
2016 .10
-
Micro-second 레벨의 지연시간을 가지는 Voltage Controlled Delay Line
대한전자공학회 학술대회
2012 .06
-
정전부상시스템의 설계
Journal of the Korean Society for Precision Engineering
2008 .06
-
Design and Control of the Electrostatic Suspension System for Flexible Objects
제어로봇시스템학회 국내학술대회 논문집
1997 .10
-
Design of a controller for input time-delay nonlinear system
제어로봇시스템학회 국제학술대회 논문집
2005 .06
-
건축공사의 투입요소에 의한 작업지연 원인분류 체계
대한건축학회 논문집 - 구조계
2006 .11
-
일반적인 플랜트에 대한 시간지연을 이용한 제어기법의 안정성 해석
대한기계학회 논문집 A권
2002 .06
-
Robust and Non-fragile H∞ State Feedback Controller Design for Time Delay Systems
International Journal of Control, Automation, and Systems
2003 .12
-
Robust and Non-fragile Hi~ State Feedback Controller Design for Time Delay Systems
International Journal of Control Automation and Systems
2003 .12
-
건설공사 동시발생 공기지연 분석방법
대한건축학회 논문집 - 구조계
2004 .06
-
State Space Design of H∞ Delayed Feedback Controllers
제어로봇시스템학회 국제학술대회 논문집
2006 .10
-
Stability Conditions and Delay Margins of Variable Delay Systems
JOURNAL OF KIEE
1995 .09
-
Development of Mixed H₂(LQ)/H∞ Controller Design Algorithm for Time-varying Delay Systems
Journal of Electrical Engineering and information Science
2000 .06
-
생산성을 고려한 건설공사 공기지연 분석방법
대한건축학회 논문집 - 구조계
2004 .04
이 논문의 저자 정보
최근 본 자료
댓글(0)
0
UCI(KEPA) : I410-ECN-0101-2014-569-000984375