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한국생산제조학회 한국생산제조학회 학술발표대회 논문집 한국공작기계학회 2004 추계학술대회 논문집
발행연도
2004.10
수록면
269 - 273 (5page)

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The moduled interferometer with waveplates, polarizing beam splitter, etc. for four phase shifted interference patterns was stabilized with the and Fast Fourier Transform (FFT) method was used to investigate the surface profile measurement from the interferenece pattern from Twyman-Green interferometer using a mathcad.
#Interferometer #surface profile #stabilization

목차

Abstract
1. 서론
2. 안정화된 간섭계용 표면 형상 측정법
3. 결론
참고문헌

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