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저자정보
오영련 (고려대학교) 김윤재 (고려대학교) 남현석 (고려대학교) 박웅기 (리노공업) 이학주 (한국기계연구원) 김정엽 (한국기계연구원) 박준협 (동명대학교)
저널정보
대한기계학회 대한기계학회 논문집 A권 대한기계학회논문집 A권 제36권 제8호
발행연도
2012.8
수록면
851 - 856 (6page)

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마이크로 프로브 팁의 설계는 매우 복잡하고 많은 비용이 든다. 이 논문에서는 새로운 타입의 프로브 팁을 유한요소해석을 이용하여 설계하였다. 유한요소해석을 이용하여 설계를 함으로써 복잡한 설계과정을 단순화 할 수 있다. 우선, 기존 프로브 팁의 실험 결과를 이용하여 유한요소해석기법을 검증하였다. 기존 프로브 팁의 물성은 100 ㎛ 의 압축 길이시 12.5 gf 의 접촉하중이 측정되었다. 본 연구에서는 새로운 타입의 프로브 팁을 제안하였다. 새로 설계된 프로브 팁의 재료는 NiCo 이며 프로브 팁의 물성은 100 ㎛ 의 압축 길이시 1~2 gf 의 접촉하중을 나타내었다.
#Probe Test(프로브 검사) #Probe Tip(프로브 팁) #MEMS Process(멤스 공정) #FE Analysis(유한요소해석기법)

목차

초록
Abstract
1. 서론
2. 기존 수직형 프로브 팁 시험
3. 유한요소해석기법 검증
4. 새로운 프로브 팁 설계
5. 결론
후기
참고문헌

참고문헌 (5)

참고문헌 신청
1. [학술대회논문] - Bates, R. D. / 1997 / The Search for the Universal Probe Card Solution / International Test Conference : 533 ~ 538 google schola 2. [보고서] - Huang, J.-T. / 2007 / Fabrication of a MEMS-Based Cobra Probe google schola 4. [학술대회논문] - Shin, M.-s. / 2008 / Design of Probe Tip using Design of Experiment / Proceedings of the KSME Spring Annual Meeting 2008 : 7 ~ 8 google schola 5. [단행본] - Weeden, O. / / Probe Card Tutorial / Keithley Instruments, Inc google schola 박준협, 김윤재. 박막의 기계적 물성을 위한 새로운 인장 시편 및 인장 시험기. 대한기계학회 논문집 A권. 2007 dbpia

이 논문의 저자 정보

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