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한국생산제조학회 한국생산제조학회 학술발표대회 논문집 한국공작기계학회 2009 춘계학술대회 논문집
발행연도
2009.5
수록면
92 - 95 (4page)

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In an electron microscopy, image resolution depends mainly on a scanning wave generation including bandwidth, and its specific generation needs to be investigated. A scan system consists of a signal generator, a scan driver, a deflector in a SEM. To reduce distortion on the SEM Image, several respects regarding to amplifier gain, transistor characteristics, and coil current balance were considered. Through experiments, the SEM image was proved to be enhanced.
#Scanning electron microscope(전자현미경) #Scan Amplifier(스캔드라이버) #enhancement(해상도 향상) #scan generator(스캔파형) #Triangle Waveform(삼각파형)

목차

Abstract
1. 서론
2. Scan Amplifier 설계
3.1. Amplifier의 전류ㆍ전압 피형 및 이미지
4. 결론
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