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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술저널
- 저자정보
- 발행연도
- 2009.10
- 수록면
- 455 - 461 (7page)
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In a scanning electron microscopy, image distortion is a critical issue and it is needed to be eliminated by some kinds of schemes. In this work, scanning frequency and scanning wave form are adjusted to have an improved image. The relationship between scan coil and its driver is investigated and appropriate frequency and wave form are suggested. It is proved that the selected frequency and wave form showed an enhanced image with less distortion, which were done by experiments. In addition, a noise elimination is addressed, providing improved image with a GROUND signal integration with the amplifier and the scan driver.
목차
Abstract
1. 서론
2. 주사신호 및 영상획득
3. 주사신호 시스템의 응답
4. 주사신호와 영상
5. 노이즈 발생 원인 및 해결
6. 결론
후기
참고문헌
참고문헌 (10)
참고문헌 신청
1. [학술지(정기간행물)] - Wells, O. C / 1968 / Voltage measurement in the scanning electron microscope / Journal of Physics E 1 : 902 ~ 906
2. [단행본] - Jeol / / A Guide to Scanning Microscope Observation / Jeol : 4 ~ 35
3. [학술대회논문] - Lim, S. J / 2005 / Development of Controller for Optimal Beam Scanning in E-Beam Manufacture System / Proceeding of the KSPE 2005 fall annual conferenc : 166 ~ 169
4. [단행본] - Lee, S. U / 2004 / The Electron Detector in Scanning Electron Microscope / Proceeding of the KSMTE 2004 spring annual conference : 513 ~ 517
5. [학술대회논문] - Kim, S. J / 2008 / Controller Circuit analysis and Scan Generation modulation for enhancing SEM image / Proceeding of the KSMTE 2008 spring annual conference : 108 ~ 111
2. [단행본] - Jeol / / A Guide to Scanning Microscope Observation / Jeol : 4 ~ 35
3. [학술대회논문] - Lim, S. J / 2005 / Development of Controller for Optimal Beam Scanning in E-Beam Manufacture System / Proceeding of the KSPE 2005 fall annual conferenc : 166 ~ 169
4. [단행본] - Lee, S. U / 2004 / The Electron Detector in Scanning Electron Microscope / Proceeding of the KSMTE 2004 spring annual conference : 513 ~ 517
5. [학술대회논문] - Kim, S. J / 2008 / Controller Circuit analysis and Scan Generation modulation for enhancing SEM image / Proceeding of the KSMTE 2008 spring annual conference : 108 ~ 111
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