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이용수
1. 서론
2. 가속도센서의 설계
3. 가속도계 제작 공정
4. 정전용량의 검출
5. 결론
참고문헌
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Cu 중간삽입층을 이용한 Al6061 합금간의 Eutectic Bonding에 관한 연구 ( A study on eutectic bonding of Al6061 alloy with Cu interlayer )
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기계저널
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Journal of Advanced Marine Engineering and Technology (JAMET)
2005 .07
Fabrication of low-g MEMS acceleration switch using SOI-Glass bonding
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2015 .11
통계방법론을 이용한 MEMS accelerometer의 성능지수 불확정성 해석
대한기계학회 춘추학술대회
2010 .06
압전 MEMS 발전기 설계 및 제작
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2008 .07
압전 MEMS 발전기 설계 및 제작
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2008 .07
단순빔형 MEMS 스위치를 위한 새로운 고효율 제조 공정 개발
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2008 .06
MEMS 제작기술을 이용한 미세 힘센서 설계 및 제작
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2002 .05
연속체 빔 이론을 이용한 MEMS accelerometer 모델링 및 성능특성 분석
한국소음진동공학회 학술대회논문집
2010 .04
MEMS 가속도계의 공진루프 설계 및 성능평가
한국항공우주학회 학술발표회 초록집
2002 .04
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