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학술대회자료
저자정보
이영화 (한국기계연구원) 최홍수 (한국기계연구원) 박준식 (한국기계연구원) 허신 (한국기계연구원)
저널정보
대한기계학회 대한기계학회 춘추학술대회 대한기계학회 2010년도 추계학술대회 강연 및 논문 초록집
발행연도
2010.11
수록면
4,300 - 4,305 (6page)

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이 논문의 연구 히스토리 (3)

2012

MEMS 마이크로폰의 제작과 A/D 변환신호 특성 측정
이영화 ,  곽준혁 ,  정영도 외 2명 대한기계학회 춘추학술대회 2012.11 학술대회자료
CMOS 신호처리칩 통합 MEMS 마이크로폰 제작 및 성능 측정
이영화 ,  곽준현 ,  정영도 외 1명 대한기계학회 춘추학술대회 2012.05 학술대회자료

2010

2칩형 MEMS 마이크로폰의 공정 및 제작 기술
이영화 ,  최홍수 ,  박준식 외 1명 대한기계학회 춘추학술대회 2010.11 학술대회자료

초록· 키워드

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In this report, we describe the process towards the fabrication of micro-size capacitive MEMS (micro-electro mechanical system) microphones. First, circular SiNx membranes with the thickness of 500 ㎚ are fabricated using Bosch DRIE process. The diameters of membranes are 500 ㎛, 1000 ㎛, 1500 ㎛ and 2000 ㎛. Electrodes on these membranes are deposited by Au evaporation. In the mean time, another wafer is prepared for back-plate using KOH anisotropic wet etching and DRIE. Air holes to reduce air damping are perforated using DRIE on the back-plate. Finally, eutectic bonding is used to assemble the membrane chip and back-plate chip. The final goal of this work is sensing acoustic sound using the fabricated capacitive MEMS microphone.
#MEMS microphone(MEMS 마이크로폰) #DRIE(심도반응성이온식각) #eutectic bonding(공융접합)

목차

Abstract
1. 서론
2. 2칩형 MEMS 마이크로폰 특성설계
3. 2칩형 MEMS 마이크로폰 공정
4. 결론
후기
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허신 ,  최홍수 ,  박준식 외 1명 Journal of the Korean Society for Precision Engineering 2009 .11
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김유래 ,  이국녕 ,  백창욱 외 4명 대한전기학회 학술대회 논문집 2010 .07
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허신 ,  정영도 ,  이영화 외 1명 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2011 .06
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박준식 ,  최홍수 ,  이영화 외 1명 대한기계학회 춘추학술대회 2010 .05

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