접촉저항 변화를 이용한 MEMS형 압력센서

윤동원; 박중호; 함상용; 조정대

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 윤동원 박중호 함상용 조정대

저널정보: 한국동력기계공학회 한국동력기계공학회 학술대회 논문집 2006年度春季學術大會論文集

발행연도: 2006.6

수록면: 115 - 120 (6page)

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A novel MEMS pressure sensor using resistance change of pressure switch array is proposed and developed. It consists of a silicon substrate that has a thin metal-deposited diaphragm and a pressure switch array patterned on Pyrex glass. Pressure switch array is formed by connecting serially a large number of electrodes and resistances. When the pressure is applied, the change of the contact area due to the diaphragm deformation is converted to sensor output through an electric signal circuit. To form the metal-deposited diaphragm and the pressure switch array, fabrication process using micromachining technologies is used. Then, simulation results such as a stress analysis of the diaphragm and contact area characteristics with an applied pressure are presented and a method for linearity compensation is discussed.

#Pressure(압력) #Seonsor(센서) #Contact Resistance(접촉저항) #Pressure Switch(압력스위치) #Patterning(패터닝) #Diaphragm(다이아프램) #Linearization(선형화) #MEMS(미세전자기계시스템)

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