Effect of Interlayer on Thermal Stability of Iridium Rhenium Thin Films Deposited by Ion Beam Assisted Magnetron Sputtering for Glass Molding

Jong-Won Choi; Jong-Kuk Kim; Eungsun Byon; Do-Geun Kim

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: Jong-Won Choi Jong-Kuk Kim Eungsun Byon Do-Geun Kim

저널정보: 한국표면공학회 한국표면공학회 학술발표회 초록집 INTERFINISH 2008

발행연도: 2008.6

수록면: 385 - 385 (1page)

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2008

Effect of Re Content on Thermal Stability and Mechanical Properties of Ir-Re Films Deposited by Ion Beam Assisted Magnetron Sputtering for Glass Molding

Jong-Won Choi , Jong-Kuk Kim , Eungsun Byon 외 1명 한국표면공학회 학술발표회 초록집 2008.06 학술대회자료

Effect of Interlayer on Thermal Stability of Iridium Rhenium Thin Films Deposited by Ion Beam Assisted Magnetron Sputtering for Glass Molding

Jong-Won Choi , Jong-Kuk Kim , Eungsun Byon 외 1명 한국표면공학회 학술발표회 초록집 2008.06 학술대회자료

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