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한국생산제조학회 한국생산제조학회 학술발표대회 논문집 한국공작기계학회 2008 추계학술대회 논문집
발행연도
2008.10
수록면
276 - 279 (4page)

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Focused ion beam (FIB) sputtering was used to fabricate a low microscale mold having a circular curved structure, as well as variable sizes. Experimentally, in this work, a continuous slicing method, which was modified from two-dimensional slice-by-slice approach developed by Fu, was tested with the aim of excluding the material redeposition phenomena by repeating the discrete slicing process with a combination of spiral scans as part of an overall vector scan. Three types of fabrication strategies, including scan strategy, ion beam condition, and processing parameter, were defined and the mould was fabricated as a function of ion dose for specific dwell times. Through replication technique from fabricated moulds, polymeric microstructures were replicated from polydimethy-lsiloxane (PDMS) and polyurethane acrylate (PUA) and compared with the mould dimension. Furthermore, micro-lens arrays was also fabricated and replicated.
#집속이온빔 #3차원 마이크로 몰드 #PDMS #PUA

목차

Abstract
1. 서론
2. FIB를 이용한 가공방법
3. 몰드 제작 및 폴리머 복제
4. 토의
5. 결론
후기
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