메뉴 건너뛰기
.. 내서재 .. 알림
소속 기관/학교 인증
인증하면 논문, 학술자료 등을  무료로 열람할 수 있어요.
한국대학교, 누리자동차, 시립도서관 등 나의 기관을 확인해보세요
(국내 대학 90% 이상 구독 중)
로그인 회원가입 고객센터 ENG
주제분류
인문학
인문학 일반 역사학 철학 종교학 어문학 기타 인문학
사회과학
사회과학 일반 경영학 관광학 교육학 군사학 문헌정보학 법학 사회학 신문방송학 심리과학 정치외교학 지리학 행정학 경제학 무역학 인류학 기타 사회과학
자연과학
자연과학 일반 물리학 생물학 생활과학 수학·통계학 천문학 지구과학 화학 기타 자연과학
공학
공학 일반 건축공학 기계공학 산업공학 재료·에너지공학 전기전자공학 조선해양공학 화학공학 컴퓨터학 기타공학
의약학
의학 일반 간호학 수의학 약학 한의학 기초의학 임상의학 기타 의약학
농수해양학
농수해양학 일반 농학 수산학 식품과학 임학 축산학 해상운송학 기타 농수해양학
예술체육학
예술 일반 디자인 미술 미용 사진 음악학 의상 체육 공연매체예술 기타 예술체육학
복합학
학제간연구 과학기술학 뇌인지과학 기술정책 기타 복합학

ENG

추천
검색
질문

논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
저널정보
Korean Society for Precision Engineering Journal of the Korean Society for Precision Engineering 한국정밀공학회지 Vol.24 No.10
발행연도
2007.10
수록면
109 - 116 (8page)

이용수

표지
📌
연구주제
📖
연구배경
🔬
연구방법
🏆
연구결과
AI에게 요청하기
추천
검색
질문

이 논문의 연구 히스토리 (6)

2012

이온빔 몬테 카를로 시물레이션 프로그램 개발 및 집속 이온빔 공정 해석
김흥배 Journal of the Korean Society for Precision Engineering 2012.04 학술저널

2011

집속이온빔과 집속전자빔을 이용한 나노 구조물의 증착
김흥배 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2011.10 학술대회자료
집속이온빔을 이용한 마이크로/나노 구조물의 3차원 형상 가공
김흥배 한국생산제조학회 학술발표대회 논문집 2011.10 학술대회자료
집속이온빔을 이용한 마이크로/나노스케일에서의 실리콘 금형 가공 특성
김흥배 ,  노상래 Journal of the Korean Society for Precision Engineering 2011.08 학술저널

2007

이온빔을 이용한 마이크로/나노 가공: 형상가공
김흥배 ,  Ge ,  ha 외 1명 Journal of the Korean Society for Precision Engineering 2007.10 학술저널

2005

집속이온빔에서 가변 드웰 타임을 적용한 나노 가공
김흥배 한국생산제조학회 학술발표대회 논문집 2005.10 학술대회자료

초록· 키워드

오류제보하기
Focused ion beams are a potential tool for micro/nano structure fabrication while several problems still have to be overcome. Redeposition of sputtered atoms limits the accurate fabrication of micro/nano structures. The challenge lies in accurately controlling the focused ion beam to fabricate various arbitrary curved shapes. In this paper a basic approach for the focused ion beam induced direct fabricate of fundamental features is presented. This approach is based on the topography simulation which naturally considers the redeposition of sputtered atoms and sputtered yield changes. Fundamental features such as trapezoidal, circular and triangular were fabricated with this approach using single or multiple pass box milling. The beam diameter(FWHM) and maximum current density are 68 ㎚ and 0.8 A/㎠, respectively. The experimental investigations show that the fabricated shape is well suited for the pre-designed fundamental features. The characteristics of ion beam induced direct fabrication and shape formation will be discussed.
#Focused Ion Beam(집속이온빔) #Nano Fabrication(나노가공) #Simulation(전산해석) #Redeposition(재증착) #Sputtering(스퍼터링)

목차

ABSTRACT
1. 서론
2. 접근방법 및 실험
3. 집속이온빔 형상 가공
4. 결론
참고문헌

참고문헌 (0)

참고문헌 신청
참고문헌이 DBpia에서 서비스 중이라면, [참고문헌 신청]을 통해 등록해보세요

함께 읽어보면 좋을 논문

논문 유사도에 따라 DBpia 가 추천하는 논문입니다. 함께 보면 좋을 연관 논문을 확인해보세요!

이 논문의 저자 정보

이 논문과 함께 이용한 논문

집속이온빔을 이용한 마이크로 엔드밀의 제작 및 절삭가공
김충수 ,  추원식 ,  김재현 외 3명 대한기계학회 춘추학술대회 2008 .05
이온빔가공한 다이아몬드 촉침의 선단반경이 표면거칠기 측정에 미치는 영향
한응교 ,  노병옥 ,  유영덕 대한기계학회 춘추학술대회 1989 .01
워터젯 가공기술의 최신 동향
여명헌 한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집 2014 .04
극초단 펄스 레이저 응용 미세가공기술
이제훈 ,  손현기 Journal of the Korean Society for Precision Engineering 2010 .02
전자빔 응용 나노 가공기술
김재구 ,  이재종 ,  조성학 외 2명 Journal of the Korean Society for Precision Engineering 2008 .03

최근 본 자료

전체보기

댓글(0)

0

UCI(KEPA) : I410-ECN-0101-2009-555-017021184