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저널정보
대한기계학회 대한기계학회 논문집 A권 대한기계학회논문집 A권 제30권 제9호
발행연도
2006.9
수록면
1,166 - 1,172 (7page)

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2006

집속이온빔장치에서의 이온빔축 얼라인먼트
박철우 ,  이종항 ,  강승언 대한기계학회 논문집 A권 2006.09 학술저널

2005

집속이온빔 가공장치의 이온컬럼부 얼라인먼트
박철우 ,  최진형 ,  이종항 한국생산제조학회 학술발표대회 논문집 2005.10 학술대회자료

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This paper describes an alignment method of the ion column which is used for a focused-ion-beam machining system. The alignment parameters for mechanical and electrical components are introduced, and also sample images are used for evaluating the experiments. The experimental results show that geometrical positions of mechanical components have an influence on the quality of emitted ion beam. In addition, we can successfully align the traveling axis of ions by using mechanical and electrical methods.
#Focused Ion Beam(집속이온빔) #Ion Column(경통) #Condenser Lens(집속렌즈) #Objective Lens(대물렌즈) #Alignment(얼라인먼트) #Performance Test(성능시험)

목차

Abstract
1. 서론
2. 기초이론
3. 실험장치 및 실험방법
4. 실험결과
5. 결론
후기
참고문헌

참고문헌 (4)

참고문헌 신청
Orloff J., Utlaut M. and Swanson L., 2003, High Resolution Focused Ion Beams: FIB and its Applications, Kluwer Academic/Plenum Publisher, pp. 5~11. google schola Prewett P. D. and Mair G. L. R., 1991, Focused Ion Beam from Liquid Metal Ion Sources, Research studies press Ltd., pp. 151~175. google schola Matsui S., Kaito T., Fujita J., Komuro M., Kanda K. and Haruyama Y., 2000, “Three-dimensional Nanostructure Fabrication by Focused-ion-beam Chemical Vapor Deposition,” J. Vac. Sci. Technol(B), Vol. 18, No. 6, pp. 3181~3184. google schola Morita T., Arimoto H., Miyauchi E., and Hashimoto H., 1987, "Alignment Accuracy of Focused Ion Beam Implantation," Jpn. J. Appl. Phys., Vol. 26, No. 6, pp. 955~958. google schola

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