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한국생산제조학회 한국생산제조학회 학술발표대회 논문집 한국공작기계학회 2008 추계학술대회 논문집
발행연도
2008.10
수록면
44 - 49 (6page)

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High precision machining technology has become one of the important parts in the development of a precision machine. Such a machine requires high speed on a large workspace as well as high precision positioning. For machining systems having a long stroke with ultra precision, a micro stage system with lever mechanism is proposed in this paper. The proposed micro stages are activated by the piezo-actuators with high precision, however, they have severe disadvantage for the travel range that the stroke is limited to a few microns. Because it is not easy to increase the stroke of piezo-actuator, it is very difficult to make an X-Y stage with only piezo-actuators. Therefore, in order to increase it, this paper proposes a lever mechanism for the piezo-actuator stage. In the experiments, we can confirm that the stroke is increased more than three times and it is possible to implement the micro X-Y stage using piezo-actuators.
#Micro stage #Piezo actuator #Lever mechanism

목차

Abstract
1. 서론
2. 레버장치를 적용한 마이크로 스테이지 설계
3. 마이크로 스테이지 동특성 실험
4. 결론
참고문헌

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