Mechanical Properties of Al based AlCrN films synthesized by closed field unbalanced magnetron sputtering

GwangSeok Kim; SangYul Lee; JunHee Hahn

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: GwangSeok Kim SangYul Lee JunHee Hahn

저널정보: 한국표면공학회 한국표면공학회 학술발표회 초록집 2005년도 춘계 학술발표회 초록집

발행연도: 2005.5

수록면: 134 - 134 (1page)

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2005

Study on the properties of Cr_1-xZ_rxN films synthesized by closed field unbalanced magnetron sputtering

GwangSeok Kim , SangYul Lee , BomSok Kim 외 1명 한국표면공학회 학술발표회 초록집 2005.05 학술대회자료

Mechanical Properties of Al based AlCrN films synthesized by closed field unbalanced magnetron sputtering

GwangSeok Kim , SangYul Lee , JunHee Hahn 한국표면공학회 학술발표회 초록집 2005.05 학술대회자료

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