Aspect ratio에 따른 Inductively coupled Plasma 특성 연구

조성환 ,  이호준

대한전기학회 학술대회 논문집

2018 .10

Aspect ratio에 따른 Inductively coupled Plasma 특성 연구

조성환 ,  이호준

대한전기학회 학술대회 논문집

2019 .07

고진공에서의 Inductively Coupled Plasma 특성 진단

조성환 ,  이호준

대한전기학회 학술대회 논문집

2020 .07

Enhanced Inductively Coupled Plasma의 자화 주파수 의존 특성

라상호 ,  박세근 ,  오범환

대한전자공학회 학술대회

2000 .06

Plasma Properties of Dual-Frequency Inductively Coupled Plasma Source

이승민 ,  김경남 ,  김태형 외 4명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2014 .05

Fabrication of Integrated PZT Ferroelectric Capacitor using Inductively Coupled Plasma

Chang Jung Kim ,  June Key Lee ,  Chee Won Chung 외 3명

대한전자공학회 학술대회

1996 .01

Surface Modification Cr Plated SS316L by Inductively Coupled Plasma Nitriding

Dong Hoon Han ,  Won Hyuk Hong ,  Boh Wan Pak 외 1명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2008 .06

Inductively Coupled Plasma Etcher를 이용한 Pt 박막의 식각 ( Inductively Coupled Plasma Etching of Pt Thin Films )

이희습 ,  이종근 ,  정형섭 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1996 .07

Inductively coupled plasma를 이용한 ITO표면의 O₂ plasma 처리 후 유기 발광 소자의 특성

김미숙 ,  정창현 ,  임종태 외 2명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2005 .11

Plasma Properties by Pulsed Inductively Coupled Plasma Source using Dual Frequency

김태형 ,  김경남 ,  이승민 외 4명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2014 .05

Inductively coupled plasma application in CW Laser Propulsion

Takayoshi Inoue ,  Kohei Kojima ,  Susumu Ueha 외 6명

한국추진공학회 학술대회논문집

2004 .05

유도 결합형 열 플라즈마의 특성 연구

신홍민 ,  최경철 ,  김원규 외 1명

대한전기학회 학술대회 논문집

1991 .11

Platinum Etching in an Inductively Coupled Cl2 Plasma

C. S. Yoon ,  T. S. Kim ,  J. G. Lee 외 8명

대한전자공학회 학술대회

1996 .01

Etching Characteristics of Contact Holes with a Phase-Controlled Pulsed Inductively Coupled Plasma

신경섭 ,  강창진 ,  정철 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1998 .01

Area-efficient Early Termination in Belief Propagation Decoders of Polar Codes

Soyeon Choi ,  Hoyoung Yoo

IEIE Transactions on Smart Processing & Computing

2019 .06

Aspect Ratio 변화에 따른 Plasma Uniformity 변화

조성환 ,  이호준

대한전기학회 학술대회 논문집

2019 .10

Etching characteristics of Al-Nd alloy thin films using magnetized inductively coupled plasma

Y.J. Lee ,  H.R. Han ,  G.Y. Yeom

한국표면공학회 학술발표회 초록집

1999 .10

A Method for Proving Termination of Functional Programs

Masato Noto ,  Masahito Ku ,  iha 외 2명

ITC-CSCC :International Technical Conference on Circuits Systems, Computers and Communications

1997 .01

Plasma Characteristics of (DF-ICP) Dual Frequency Inductively Coupled Pulsed Plasma Source

Jin. Seock. Seo ,  Kyung ,  Jun 외 6명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2013 .11