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이용수
1. 서론
2. 실험 방법
3. 결론
참고문헌
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The synthesis of CrSiN film deposited using closed field magnetron sputtering system
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2004 .11
The Mechanical Properties and Thermal Stabilities of CrSiN/AlN Multilayer Coatings using Closed-field Unbalanced Magnetron Sputtering
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2008 .06
High speed wear behaviors of CrSiN coatings for the industrial applications of water hydraulics
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2005 .05
탈기된 3.5 wt.% NaCl 용액 환경에서의 스테인리스 강에 증착된 CrN 박막의 Si 첨가에 따른 영향 평가
한국표면공학회지
2005 .08
The Properties of ZrO2 Film Deposition by ALD at Low Temperature
Journal of the Korean Society for Precision Engineering
2017 .10
Microwave Plasma를 이용하여 증착한 diamond 박막의 증착변수에 따른 증착특성 연구
한국재료학회 학술발표대회
1994 .01
Hybrid 코팅시스템에 의해 증착된 Ti-Cr-Si-N 코팅막의 합성 및 기계특성
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2005 .05
PECVD를 이용한 ZnO박막 증착시 증착 변수가 증착속도 및 결정 구조에 미치는 영향
한국재료학회지
1994 .01
원자층 증착 방법으로 증착된 실리콘 질화막의 특성
한국재료학회 학술발표대회
2002 .01
알루미늄 화학증착에서 선택적 증착을 위한 기저충의 활용
대한전자공학회 학술대회
1995 .01
Multi-functional layer coating on nanoparticles via atomic-layer-deposition
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2018 .11
분무열분해법에 의한 SnO₂박막의 증착
한국태양에너지학회 논문집
1995 .09
R&D용 소형 원자층 증착 시스템 개발
대한기계학회 춘추학술대회
2018 .12
코팅 특성 예측 및 제어를 위한 증착 시스템 설계
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2009 .10
활성화 반응성 증착법에 의한 산화인듐 박막의 증착 ( In2O3 thin Film Prepared by Activated Reactive Evaporation )
대한전자공학회 학술대회
1992 .11
Study on the Formation of SiO₂ : F films Using Liquid Phase Deposition
대한전기학회 학술대회 논문집
1999 .07
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