반응성 스퍼터링으로 제조한 ${Ta_2}{O_5}/{Al_2}{O_3}$ 다충박막의 유전특성

최재훈 ,  오태성

한국재료학회지

2001 .01

스퍼터링에 의한 고밀도 Al 박막 코팅과 특성 분석

양지훈 ,  정재인 ,  장승현 외 1명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2010 .11

스퍼터링법으로 증착한 Al 박막의 결정 배향성에 관한 연구

최한메 ,  최시경

한국재료학회 학술발표대회

1997 .01

반응성 스퍼터링에서 산화 티타늄 박막의 성장 특성

이필홍 ,  고경현 ,  안재환 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

1996 .01

Al-Al2O3-Al 박막구조의 전기적 특성

성영권 ,  민남기

대한전자공학회 학술대회

1978 .01

Al-Al2O3-Al 박막구조의 전기적 특성

성영권 ,  민남기

대한전자공학회 심포지엄 논문집

1978 .01

마그네트론 스퍼터링으로 코팅된 Al-Si 박막의 특성

양지훈 ,  정재훈 ,  송민아 외 2명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2014 .05

2단계 스퍼터링에 의한 PZT박막의 유전특성

박삼규 ,  마재평

대한전자공학회 학술대회

2004 .06

박막내 AIN 함량이 $(Ti_{1-x}Al_x)N$ 박막의 미세구조와 미세경도에 미치는 영향

박종관 ,  박주동 ,  오태성

한국재료학회 학술발표대회

1996 .01

DC 반응성 마그네트론 스퍼터링법으로 TiN/Al, TiCN/Al 박막의 물성 평가

이현준 ,  송풍근

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2012 .11

반응성 스퍼터링법으로 증착한 AZO박막의 제조 및 특성평가

박이섭 ,  이승호 ,  송풍근

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2006 .10

UBM 스퍼터링을 이용한 치밀한 Al 박막 코팅

박혜선 ,  정재인 ,  양지훈 외 1명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2010 .05

스퍼터링 전력 변화에 따른 Al thin film의 특성 분석

홍근기 ,  홍순관

한국산학기술학회 학술대회논문집

2009 .05

스퍼터로 성장된 알루미늄 박막의 공정 변수와 박막 두께에 따른 물성

오일권 ,  윤창모 ,  장진욱 외 1명

한국재료학회지

2016 .01

반응성 스퍼터링법에 의한 탄탈륨산화막의 특성

금동렬 ,  박욱동 ,  김기완 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1991 .06

낮은 누설전류를 갖는 박막 트랜지스터의 제조 ( Fabrication of Low-leakage-Current T.F.T. )

마대영 ,  김기완

대한전자공학회 학술대회

1984 .01

낮은 누설전류를 갖는 박막 트랜지스터의 제조

마대영 ,  김기완

대한전자공학회 학술대회

1984 .11

BaNb₂O₆:Eu³⁺ 박막의 특성에 증착 온도가 미치는 효과

강현식 ,  박성민 ,  조신호

한국신·재생에너지학회 학술대회 초록집

2015 .06

전력설비의 누설전류특성 연구

최은혁 ,  임동영 ,  박숭규 외 2명

한국조명·전기설비학회 학술대회논문집

2016 .05