BORIDING OF STEEL WITH PECVD METHOD

M. J. LEE ,  K. Y. LEE ,  J. H. LEE 외 1명

한국표면공학회지

1999 .06

Remote PECVD와 Direct PECVD에 의해 증착된 실리콘 산화막의 특성 평가 ( Evaluation of Silicon Oxide Films Deposited by Remote PECVD and Direct PECVD )

정윤권 ,  정문식 ,  강봉구

대한전자공학회 학술대회

1991 .11

플라즈마 화학증착법으로 제조한 B-doped a-$Si_{1-X}$$C_X$:H 박막을 이용한 비정질 실리콘 박막 태양전지에 관한 연구

정연학 ,  박재석 ,  이재신

한국재료학회 학술발표대회

1998 .01

PECVD법에 의한 DLC 박막의 증착

김상호 ,  김동원

한국표면공학회지

2002 .04

ECR-PECVD와 RF-PECVD법에 의해 증착된 TiN박막의 특성 비교

전병혁 ,  김종석 ,  이응직 외 3명

한국재료학회 학술발표대회

1994 .01

RF-PECVD법과 ECR-PECVD법에 의해 증착된 TiN 박막의 물성에 관한 비교 연구

김종석 ,  전병혁 ,  이응직 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

1995 .01

PECVD법으로 증착된 DLC film의 광학적 특성연구

김문협 ,  송재진 ,  노재승 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

1999 .01

PECVD에 의해 제조된 ($Ba_{1-x}Sr_x$)TiO$_3$ 박막의 특성 및 전기적 성질

홍성의 ,  윤순길

한국재료학회 학술발표대회

1996 .01

PECVD법에 의한 나노클러스터의 형성 및 메카니즘

윤용섭

한국마린엔지니어링학회 학술대회 논문집

2012 .10

PECVD에 의한 질화 실리콘 박막의 증착

허창우

한국정보통신학회논문지

2007 .11

PECVD(Plasma enhanced chemical vapor deposition)방법에 의한 a-C:H 박막의 열처리에 관한 연구

한준희 ,  진억용

한국재료학회 학술발표대회

1996 .01

Optical Properties of Si nanocrystalline using PECVD

Hyeon Hun Yang ,  Han Wool Kim ,  Chang Gwon Lee 외 5명

대한전기학회 학술대회 논문집

2011 .11

PECVD에 의한 μc-Si : H 박막트랜지스터의 제조 ( Fabrication of μc-Si : H TFTs by PECVD )

문교호 ,  이재곤 ,  최시영

전자공학회논문지-A

1996 .05

PECVD산화막을 이용한 삼층금속배선공정에 관한 연구 ( The Study on the Triple-Level metallization process Using PECVD Oxide )

백종태 ,  허성익 ,  박영준 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1990 .07

PECVD를 이용한 Si₃N₄ 박막의 공정변수에 따른 특성분석과 응용

신재완 ,  이복형 ,  이성대 외 6명

대한전자공학회 학술대회

1999 .06

PECVD를 이용한 MoS₂ 원자층 합성

김형우 ,  안치성 ,  Gi 외 4명

대한기계학회 춘추학술대회

2013 .05

PECVD를 이용한 SiO2 / Si3N4 박막의 특성 고찰 ( Characteristics of SiO2 / Si3N4 Films Using the PECVD Method Under Various Conditions )

김우진 ,  임우택 ,  김재영 외 3명

대한전자공학회 학술대회

1991 .11

PECVD 기법을 이용한 나노 결정 Si 박막의 제조 및 특성 평가

심재현 ,  박명범 ,  한규호 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

2001 .01

PECVD 비정질 실리콘 증착 반응의 이론적 모델과 실험결과 ( Theoretical Model and Experimental Results of PECVD Amorphous Silicon Deposition Process )

김진홍 ,  남철우 ,  우성일 외 1명

전자공학회논문지

1990 .07

PECVD 비정질 실리콘 증착 반응의 이론적 모델과 실험결과 ( Theoretical Model and Experimental Results of PECVD Amorphous Silicon Deposition Process )

김진홍 ,  남철우 ,  우성일 외 1명

전자공학회논문지

1990 .06