RF Sputtering법에 의한 구리 피복층의 photoetching 특성

김영신 ,  김동진 ,  이홍로

한국표면공학회 학술발표회 초록집

1996 .05

RF Sputtering에 의한 구리 피복층의 photoetching 특성

김영신 ,  김동진 ,  이홍로

한국표면공학회 학술발표회 초록집

1995 .10

금속 resisit를 이용한 ceramic 미세가공의 photoetching특성

곽노열 ,  김영신 ,  이홍로

한국표면공학회 학술발표회 초록집

1996 .11

RF magnetron 스파터링법으로 제작한 TiN_x 박막의 면저항분석

박문찬 ,  오정홍 ,  김남영 외 1명

한국안광학회지

1999 .06

RF magnetron 스파터링법으로 제작한 TiN_x 박막의 XPS 분석

박문찬 ,  오정홍 ,  황보창권

한국안광학회지

1998 .12

RF Magnetron Sputtering법에 의해 제작한 마그네슘 박막의 특성연구

배일용 ,  김기준 ,  문경만 외 1명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2000 .11

RF Magnetron Sputtering에 의한 $(Ba_{0.5}, Sr_{0.5})Tio_3$박막의 제조와 전기적 특성에 관한 연구

박상식 ,  윤손길

한국재료학회지

1994 .01

RF magnetron sputtering에 의한 $(Ba_{1-x},Sr_{x})TiO_{3}$ 박막의 제조와 전기적 특성에 관한 연구

박상식 ,  윤순길

한국재료학회 학술발표대회

1993 .01

RF Magnetron Sputtering법으로 제작한 투명전도성 박막의 미세구조와 전기적 특성에 관한 연구

전용수 ,  김성수

한국재료학회 학술발표대회

1999 .01

Photoetching과 Electroless Plating으로 제작된 온도 보상용 게이지의 온도 특성에 관한 연구

한응교 ,  노병옥 ,  정재호

대한기계학회 춘추학술대회

1989 .01

RF 마그네트론 스퍼터링법으로 제작한 고온 내구성 InSbO₄ 박막의 물성 평가

이현준 ,  조상현 ,  송풍근

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2012 .05

RF Magnetron Sputtering을 이용한 $TiO_2$ 박막의 결정성과 광학적 특성

강계원 ,  이영훈 ,  곽재찬 외 2명

한국재료학회 학술발표대회

2001 .01

반응성 RF 마그네트론 스퍼터링에 의한 TiN_x 상온 성막에 있어서 기판 상의 펄스상 직류 바이어스 인가 효과

김세기

한국표면공학회지

2019 .12

ZnO Thin Films Co-Doped Li-Al Grown Using RF Magnetron Sputtering

Jun-Pyo Hong ,  Ki Chang Lee ,  Un Bin Han 외 4명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2008 .06

RF Magnetron Sputtering 으로 형성시킨 PZT 박막 특성 연구

하용해 ,  백수현 ,  백상훈 외 4명

한국재료학회 학술발표대회

1992 .01

RF Magnetron Sputtering법으로 제조한 AlN박막의 우선배향성

진덕용 ,  최대규 ,  이창엽

한국재료학회 학술발표대회

1999 .01

RF-magnetron sputter법을 이용한 silicon nitride 박막의 제조

하윤정 ,  이상운 ,  신재혁 외 1명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2003 .10

RF Sputtering을 이용한 전류 민감성 차단 디바이스에 관한 연구

이세현 ,  정광희 ,  박두기 외 4명

대한전기학회 학술대회 논문집

1995 .07

RF magnetron sputter로 성장시킨 고유전 $TiO_2:SiO_2$ 박막의 특성

김성연 ,  오병윤 ,  함문호 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

2006 .01

The ternary B-C-N coatings using a rf Magnetron sputtering technique

Da Woon Jeong ,  Doo-in Kim ,  Kwang Ho Kim

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2010 .11