Evolution of surface morphology and roughness in Si and Si_0.7Ge_0.3 thin films

N. E. Lee

한국표면공학회지

1998 .12

RF 방전 플라즈마의 파라메타 제어에 의한 TiN 박막 특성

郭東周 ,  金斗煥 ,  金熙濟 외 1명

전기학회논문지

1997 .02

평판형 전극계의 RF 글로우 방전특성 및 TiN 박막특성

곽동주 ,  김두환 ,  김희제 외 1명

대한전기학회 학술대회 논문집

1996 .07

스퍼터링 방법으로 성장시킨 ZnO 박막의 결정질 향상을 위한 고온성장

김영이 ,  안철현 ,  강시우 외 5명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2007 .04

RF 스퍼터링법에 의한 SCT 박막의 기판온도 영향

金鎭士 ,  吳容喆 ,  曺春男 외 3명

전기학회논문지 C

2004 .10

RF 마그네트론 스퍼터링법에 의한 방향성을 지닌 $SrTiO_3$ 박막의 제조

남승희 ,  이원재 ,  김호기

한국재료학회 학술발표대회

1992 .01

TiN코팅층의 색상과 구조에 미치는 스퍼터링 조건의 영향

김학동 ,  이건환 ,  이인섭 외 1명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

1992 .10

RF 마그네트론 스퍼터링법으로 증착한 FeS₂ 박막의 구조적 및 광학적 특성에 대한 RF 파워의 영향

신동혁 ,  김준아 ,  안태현 외 5명

한국신·재생에너지학회 학술대회 초록집

2018 .11

스퍼터링 증착조건이 TiN막의 마모특성에 미치는 영향 ( The Effect of Sputtering Deposition Conditions on Tribological Characteristics of TiN films )

류준옥 ,  유재욱 ,  임대순

Tribology and Lubricants

1995 .03

RF스퍼터링법으로 제작한 ZnO박막의 특성평가

정세민 ,  정광천 ,  최유신 외 3명

대한전기학회 학술대회 논문집

1997 .07

D. C. 마그네트론 스퍼터링에 의한 증착조건이 TiN다층박막의 밀착력에 미치는 영향

김선규 ,  유정광 ,  이건환 외 1명

한국표면공학회지

1996 .08

RF 마그네트론 스퍼터링을 이용한 박막 증착에 관한 연구

이우식

한국정보전자통신기술학회 논문지

2018 .12

3 차원 입방형 표면조도가 난류경계층에 미치는 영향

이재화 ,  성형진

대한기계학회 춘추학술대회

2010 .04

고밀도 플라즈마 응용 고효율 스퍼터링 증착 공정 개발

김종국 ,  이승훈 ,  김창수 외 2명

한국재료학회 학술발표대회

2011 .01

3 차원 입방형 표면조도가 난류경계층에 미치는 영향

이재화 ,  성형진

대한기계학회 논문집 B권

2010 .10

RF 마그네트론 스퍼터를 이용한 TiN 박막 제조 및 특성 분석

유창준 ,  심연아 ,  문종하 외 2명

한국재료학회 학술발표대회

2003 .01

RF 마그네트론 스퍼터링법에 의해 제조한 투명 전극용 ZnO 박막 증착에 관한 연구

김진용 ,  이용의 ,  조해석 외 3명

대한전자공학회 학술대회

1994 .01

필름의 표면조도에 대한 새로운 평가방법

장상홍 ,  임재춘 ,  오상열

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

1986 .04