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이용수
초록
1. 서론
2. 실험방법
3. 결론
감사의 글
참고문헌
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유도 결합 플라즈마를 이용한 Y₂O₃ 박막의 식각 특성 연구 ( A Study on Etch Characteristics of Y₂O₃ Thin Films in Inductively Coupled Plasma )
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2001 .09
유도 결합 플라즈마 보조 스퍼터링 장치의 기술적 발전 과제
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2011 .01
X-선 노광용 마스크 제작에 관한 연구
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1995 .01
NLD Plasma 식각 공정을 이용한 $LiNbO_3$ 광 도파로의 식각 Profile의 특성
한국재료학회 학술발표대회
2003 .01
약한 자장을 사용하는 평면형 유도결합 플라즈마의 식각 특성
대한전자공학회 학술대회
1995 .01
극자외선 간섭 리소그래피용 Transmission Grating 나노공정기술개발
한국통신학회 기타 간행물
2009 .12
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