Etch Properties of Gallium Nitride Using Chemically Assisted Ion Beam Etching ( CAIBE )

W. J. Lee ,  H. S. Kim ,  G. Y. Yeom 외 2명

International Conference on Electronics, Informations and Communications

1998 .01

GaN(Gallium Nitride) 기반 전력소자 제작 기술개발 현황

이병철 ,  성홍석

전자공학회지

2015 .01

Dry Etching characteristics of GaN Using Reactive Ion Beam

J. W. Lee ,  H. S. Kim ,  Y. J. Pa 외 2명

OPTOELECTRONICS & COMMUNICATIONS CONFERENCE

1997 .01

액체 금속 이온원의 빔 안정도 향상

현정우 ,  임연찬 ,  김성수 외 3명

한국생산제조학회 학술발표대회 논문집

2004 .04

GaN계 질화합물 반도체의 습식식각 연구

유관기 ,  이성대 ,  이일형 외 3명

대한전자공학회 학술대회

1998 .06

GaN계 질화합물 반도체의 습식식각 연구 ( Studies on Chemical Wet Etching of GaN )

윤관기 ,  이성대 ,  이일형 외 3명

대한전자공학회 학술대회

1998 .07

GaN 박막의 ICP 식각후의 광특성

한윤봉 ,  최창선 ,  임연호 외 3명

한국재료학회 학술발표대회

2000 .01

The Etching Characteristics of si1-xGex Alloy Films Grown on Silicon using chemically Assisted Ion Beam with Cl2 Gas

류홍우 ,  김기중 ,  김근주 외 4명

대한전자공학회 학술대회

1997 .01

Review on Gallium Nitride HEMT Device Technology for High Frequency Converter Applications

No ,  Zaiha ,  Yahaya 외 2명

JOURNAL OF POWER ELECTRONICS

2009 .01

GaN 소자 패키지의 방열효율 향상을 위한 해석적 연구

김민재 ,  김준 ,  이창훈

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2016 .10

평판형 유도 결합 플라즈마를 이용한 GaN 건식 식각 특성

김문영 ,  김태현 ,  장상훈 외 1명

대한전기학회 학술대회 논문집

1997 .11

Photoluminescence Studies of Mg-Doped Gallium Nitrides

Y. Pa ,  k ,  H. Pa 외 3명

OPTOELECTRONICS & COMMUNICATIONS CONFERENCE

1997 .01

고출력증폭기 온도측정결과를 활용한 GaN 소자의 온도 예측

김민재 ,  정의봉 ,  김준 외 1명

대한기계학회 춘추학술대회

2018 .12

플라즈마 식각 공정을 위한 3차원 식각 시뮬레이터 개발

권오섭 ,  이제희 ,  윤상호 외 3명

대한전자공학회 학술대회

1997 .11

플라즈마 식각 공정을 위한 3차원 식각 시뮬레이터 개발 ( Development of Three-Dimensional Etching Simulator for a Plasma Etching Process )

권오섭 ,  이제희 ,  윤상호 외 3명

대한전자공학회 학술대회

1997 .11

GaN 식각 mask로 Fe₂O₃의 응용에 관한 연구

성연준 ,  박준용 ,  이용혁 외 3명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

1999 .05

이온빔을 이용한 Black Phosphorus 식각 연구

김두산 ,  이원오 ,  박진우 외 2명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2017 .11

유도 결합형 Cl₂계 플라즈마를 이용한 GaN 식각 특성에 관한 연구

김현수 ,  이재원 ,  김태일 외 1명

한국표면공학회지

1999 .04