WSi word-line 및 bit-line용 spacer-SiN 박막의 증착

안승준 ,  김대욱 ,  김종해 외 3명

한국재료학회지

2004 .01

WSi₂ 이상산화 기구에 대한 조사

이재갑 ,  김창렬 ,  김우식 외 2명

한국표면공학회지

1994 .04

인이 주입된 poly-Si/SiO2/Si 기판에서 텅스텐 실리사이드의 형성에 관한 연구 ( Study on Formation of W-Silicide in the Doped-Phosphorus poly-Si/SiO2/Si-Substrate )

정회환 ,  주병권 ,  오명환 외 1명

전자공학회논문지-A

1996 .03

석영 기판 위에서 텅스텐 실리사이드 게이트 전극 형성에 관한 연구

오상현 ,  김지용 ,  김지영 외 3명

한국재료학회지

1998 .01

금속-산화막-반도체 소자에서 대체 게이트 금속인 텅스텐 실리사이드의 특성 분석

노관종 ,  윤선필 ,  양성우 외 1명

대한전자공학회 학술대회

2000 .06

뜸의 효능

주승균

기계저널

2008 .01

LPCVD 방식으로 SiO₂ 위에 증착된 텅스텐 박막의 특성 분석

윤선필 ,  노관종 ,  황성민 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1999 .11

CVD 방법을 이용한 W 및 WSi2 증착장비 반응기 해석 ( Reactor Analysis for Chemical Vapor Deposition of W & WSi2 )

강봉구 ,  김호영 ,  김상호 외 3명

대한전자공학회 학술대회

1987 .11

$Al_2O_3$/si 기판위에 형성한 (Bi,La)$Ti_3O_{12}$ 박막의 특성

황선환 ,  장호정 ,  장영철

한국재료학회 학술발표대회

2002 .01

Poly-Si/$SiO_2$/Si 기판위에 증착된 코발트실리사이드의 전기적 특성

노영규 ,  장호정

한국재료학회 학술발표대회

2002 .01

영종도 지역의 WSI(Water Stress Index) 적용에 관한 연구

정지원 ,  권용현 ,  김만식 외 1명

대한토목학회 학술대회

2014 .10

WSI: 가중치를 갖는 문자의 개수를 이용한 DNA 인덱스 구조

김우철 ,  박상현 ,  원정임

한국정보과학회 학술발표논문집

2004 .05

텅스텐 실리사이드 열처리 거동에 미치는 계면 효과

진원화 ,  오상헌 ,  이재갑 외 4명

한국표면공학회지

1997 .12

LPCVD 텅스텐 박막에 관한 고찰

장원익 ,  유형준

[ETRI] 전자통신동향분석

1987 .12

텅스텐 스퍼터링시 박막의 응력조절

이태호 ,  이규한 ,  안진호 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

1996 .01