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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술대회자료
- 저자정보
- 발행연도
- 2009.5
- 수록면
- 155 - 157 (3page)
이용수
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3성분계 Ti-Si-N코팅은 N₂와 Ar 혼합가스 분위기하에서 Ti 소스는 아크 이온 플레이팅, Si 소스는 직류 마그네트론 스퍼터링 증착기법을 이용해 스테인리스 스틸 기판위에 합성되었다. Ti-Si-N코팅에서 Si 함유량이 증가함에 따라 주상정 구조가 TiN 나노결정질을 Si ... 전체 초록 보기
목차
초록
1. 서론
2. 본론
3. 결론
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