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이용수
Abstract
Ⅰ. 서론
Ⅱ. 실험 및 결과
Ⅲ. 요약 및 향후 연구방향
참고문헌
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Tribology and Lubricants
2017 .08
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2004 .05
PDM News
한국CDE학회지
2011 .04
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한국CDE학회지
2010 .08
Diamond의 접촉 조건에 따른 Polyurethane pad의 마모특성 연구
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2010 .06
W CMP 공정에서의 연마패드표면 안정화 상태와 그 개선
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2007 .01
PMMA 마이크로 몰드를 이용한 PDMS 마이크로 렌즈의 제작
대한전기학회 학술대회 논문집
2011 .07
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