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This paper was designed to fabricate the micro-spur gear by the LIGA and hybrid powder extrusion process. It is important to manufacture a micro-die with a high aspect ratio and determine appropriate extrusion conditions for a microforming. Ni has been used to fabricate micro-dies. LIGA process was capable to produce micro-extrusion dies with close tolerance, longer bearing length and adequate surface quality. Superplastic Al-78Zn powders have the great advantage in achieving deformation under low stresses and exhibiting good micro-formability with average strain rate raging from 10<SUP>-3</SUP>
to 10<SUP>-2</SUP> s<SUP>-1</SUP> and constant temperature ranging from 503 to 563K. Al-78Zn powders were compacted into a cylindrical shape (Φ3 x h10mm) under compressive force of 10kN and, subsequently, the compacted powders were extruded by the hybrid powder extrusion process controlling of the temperature holing time for a improvement on formability of Al-22Zn powder. Micro-extrusion has succeeded in forming micro-gear shafts.
to 10<SUP>-2</SUP> s<SUP>-1</SUP> and constant temperature ranging from 503 to 563K. Al-78Zn powders were compacted into a cylindrical shape (Φ3 x h10mm) under compressive force of 10kN and, subsequently, the compacted powders were extruded by the hybrid powder extrusion process controlling of the temperature holing time for a improvement on formability of Al-22Zn powder. Micro-extrusion has succeeded in forming micro-gear shafts.
목차
Abstract
1. 서론
2. 실험
3 실험 결과 및 고찰
4. 결론
후기
참고문헌
참고문헌 (8)
참고문헌 신청
1. [학술지(정기간행물)] - F. Vollertsen / 2004 / State of the art in micro forming and investigations into micro deep drawing / J. Mater. Process. Technol. 151 : 70 ~ 79
2. [학술지(정기간행물)] - Yasunori Saotome / 2001 / Superplastic backward microextrusion of microparts for micro-electro-mechanical systems / J. Mater. Process. Technol. 119 : 307 ~ 311
3. [학술지(정기간행물)] - K. H. Lee / 2007 / Development of an extruder for fabricating micro parts / IMC24 1 : 129 ~ 134
4. [학술지(정기간행물)] - 김진우 / 2009 / 고에너지 볼밀법으로 제조된 Al-78Zn Powder를 이용한 스퍼기어의 압출 / 대한기계학회논문집 A 33 (4) : 440 ~ 446
5. [학술지(정기간행물)] - W. Ehrfeld / 1995 / Deep x-ray lithography for the production of three-dimensional microstructures from metals, polymers and ceramics / Radiat. Phys. Chem. 45 : 349 ~ 365
2. [학술지(정기간행물)] - Yasunori Saotome / 2001 / Superplastic backward microextrusion of microparts for micro-electro-mechanical systems / J. Mater. Process. Technol. 119 : 307 ~ 311
3. [학술지(정기간행물)] - K. H. Lee / 2007 / Development of an extruder for fabricating micro parts / IMC24 1 : 129 ~ 134
4. [학술지(정기간행물)] - 김진우 / 2009 / 고에너지 볼밀법으로 제조된 Al-78Zn Powder를 이용한 스퍼기어의 압출 / 대한기계학회논문집 A 33 (4) : 440 ~ 446
5. [학술지(정기간행물)] - W. Ehrfeld / 1995 / Deep x-ray lithography for the production of three-dimensional microstructures from metals, polymers and ceramics / Radiat. Phys. Chem. 45 : 349 ~ 365
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