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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
이종광 (Hanbat National University)
저널정보
한국추진공학회 한국추진공학회지 한국추진공학회지 제19권 제1호
발행연도
2015.2
수록면
1 - 8 (8page)

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MEMS 추력기를 위한 유리 박막 마이크로 점화기를 개발하였다. 수십 마이크로 미터의 두께를 가지는 유리 박막을 사용하여 점화기의 구조적 안정성을 향상시켰다. 마이크로 점화기는 박막 형성을 위한 감광 유리의 이방성 식각과 점화 코일 형성을 위한 Pt/Ti 증착 공정으로 제작되었다. 개발된 점화기는 유리 박막의 구조적 안정성으로 인하여 특별한 장치없이 추진제 충전이 가능하였다. 점화 실험이 성공적으로 이뤄졌으며 최소 점화 지연은 27.5 ms, 최소 점화 에너지는 19.3 mJ 이였다.

목차

ABSTRACT
초록
1. 서론
2. 유리 박막 마이크로 점화기의 제작
3. 마이크로 점화기 성능 평가
4. 결론
References

참고문헌 (13)

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