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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
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Korean Society for Precision Engineering International Journal of Precision Engineering and Manufacturing International Journal of Precision Engineering and Manufacturing Vol.9 No.2
발행연도
2008.4
수록면
44 - 49 (6page)

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This paper describes the problem of ultra precision positioning with a ball screw mechanism in the microdynamic range, along with its solution. We compared the characteristics of two ball screw mechanisms with different table masses. The experimental results showed that the vibration resulting from the low stiffness of the ball screw degraded the positioning performance in the microdynamic range for the heavyweight mechanism. The proposed nominal characteristic trajectory following (NCTF) controller was designed for ultra precision positioning of the ball screw mechanism. The basic NCTF control system achieved ultra precision positioning performance with the lightweight mechanism, but not with the heavyweight mechanism. A conditional notch filter was added to the NCTF controller to overcome this problem. Despite the differences in payload and friction, both mechanisms then showed similar positioning performance, demonstrating the high robustness and effectiveness of the improved NCTF controller with the conditional notch filter. The experimental results demonstrated that the improved NCTF control system with the conditional notch filter achieved ultra precision positioning with a positioning accuracy of better than 10 ㎚, independent of the reference step input height.
#Ball screw #Positioning #Friction #Microdynamics #Ultraprecision

목차

1. Introduction
2. Dynamic Characteristics of Ball Screw Mechanisms
3. Basic NCTF Control Method for PTP Positioning
4. Solution of the Vibration Problem
5. Conclusions
ACKNOWLEDGMENT
REFERENCES

참고문헌 (22)

참고문헌 신청
1. [학술지(정기간행물)] - Oiwa, T / 2003 / Survey of Questionnaire on Ultra-precision Positioning / J. of JSPE 69 (8) : 1077 ~ 1082 google schola 2. [학술지(정기간행물)] - Wei Gao / 2005 / Precision Nanometrology and its Applications to Precision Nanosystems / International Journal of Precision Engineering and Manufacturing 6 (4) : 14 ~ 20 dbpia 3. [학술지(정기간행물)] - Chun Hong Park, , , / 2005 / Development of an Ultra Precision Hydrostatic Guideway Driven by a Coreless Linear Motor / International Journal of Precision Engineering and Manufacturing 6 (2) : 55 ~ 60 dbpia 4. [단행본] - Levine,W.S / 1996 / The Control Handbook / CRC Press : 1369 ~ 1382 google schola 5. [학술지(정기간행물)] - Otsuka, J / 1998 / The Influence of Nonlinear Spring Behavior of Rolling Elements on Ultraprecision Positioning Control Systems / Nanotechnology 9 (2) : 85 ~ 92 google schola

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