Precision Nanometrology and its Applications to Precision Nanosystems

Wei Gao

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자료유형: 학술저널

저자정보: Wei Gao

저널정보: Korean Society for Precision Engineering International Journal of Precision Engineering and Manufacturing International Journal of Precision Engineering and Manufacturing Vol.6 No.4

발행연도: 2005.10

수록면: 14 - 20 (7page)

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In this paper, a new field of metrology called "precision nanometrology" is presented. The "precision nanometrology" is the result of evolutions of the traditional "precision metrology" and the new "nanometrology". "Precision nanometrology" is defined here as the science of dimensional measurement and motion measurement with 100 ㎚ to 0.1 ㎚ resolution/uncertainty within a range of micrometer to meter. The definition is based on the fact that nanometrology in nanoengineering and the precision industries, such as semiconductor industry, precision machine tool industry, precision instrument industry, is not only concerned with the measurement resolution and/or uncertainty but also the range of measurement. It should also be pointed out that most of the measurement objects in nanoengineering have dimensions larger than I micrometer. After explaining the definition of precision nanometrology, the paper provides several examples showing the critical roles of precision nanometrologv in precision nanosystems, including nanometrology system, nanofabrication system, and nanomechatronics system.

#Nanometrology #Precision metrology #Nanosystem #Accuracy #Fabrication #Mechatronics

1. Introduction
2. Precision nanometrology in precision nanomeasuring instruments
3. Precision nanometrology in a precision nanomachin ing instrument
4. Precision nanometrology in a precision nanofabrication system for large area microstructured surfaces
5. Precision nanometrology in a nanomechtronics system for planar motion control
6. Conclusions
Acknowledgement
References

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[학술지(정기간행물)] - / 1988. / ¨Nanometrology of optical flats by laser autocollimation 1 : 415 ~ 425

[학술지(정기간행물)] - / 1992 / ?e Proceedings of AIP Conference ¨na (metrology) : 371 ~ 407

[학술지(정기간행물)] - / June1998. / Conclusions of the WGDM 3 Discussion Group on Nanometrology

[학술지(정기간행물)] - / 2000 / Benefit derived from the histroy of length measuring technology 22 (1) : 9 ~ 16

[학술지(정기간행물)] - / 1992. / ¨Foundations of ultraprecision mechanism design

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