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대한설비공학회 설비공학논문집 설비공학논문집 제20권 제1호
발행연도
2008.1
수록면
17 - 25 (9page)

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To achieve the unidirectional airflow in a cleanroom, we need to predict accurately the static pressure losses at the lower plenum and to control properly the opening pressure ratio of access floor panels based on these pressure losses. At first, the present study proposed a correlation to predict the velocity distribution at the lower plenum, because the accuracy to predict pressure losses at the lower plenum depends on how to calculate the velocity correctly against the inner structures at the lower plenum. In the second place, this study proposed correlations which considered the effect of inner structures such as columns, ducts and equipments at the lower plenum on pressure losses. In order to test the accuracy of these correlations, we compared air flow patterns before regulating the opening ratio of access floor with those after regulating. Results after regulating the opening ratio of access floor show good unidirectional uniform airflow pattern. So the present method can be used as an important tool to control the air flow in a cleanroom.
#Cleanroom(클린룸) #Lower plenum(하부 플레넘) #Access floor(억세스 플로어) #Opening ratio(개구율) #Velocity profile(속도분포) #Static pressure distribution(정압분포)

목차

ABSTRACT
1. 서론
2. 하부 플레넘의 정압분포에 미치는 인자
3. 수치해석 모델링
4. 해석 결과
5. 억세스 플로어의 개구율 계산
6. 결론
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