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In a vertical laminar flow type cleanroom, the airborne particles generated inside the room should be exhausted as fast as possible to maintain high cleanliness. For this purpose, it is important to analyze the airflow characteristics, and this is related to various parameters, such as heat load, adoption to perforated or blind access floor, establishment of eyelid etc. In this study the field of airflow, temperature, and pressure is experimented to obtain database for performance improvement in view point of airflow control on the suject of vertical laminar flow type cleanroom which has different air velocity centering eyelid.

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UCI(KEPA) : I410-ECN-0101-2009-540-012871096