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대한설비공학회 설비공학논문집 空氣調和·冷凍工學 論文集 제1권 제4호
발행연도
1989.11
수록면
276 - 289 (14page)

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이 논문의 연구 히스토리 (2)

1989

클린룸의 상부 플레넘 설계를 위한 유동특성 실험
오명도 ,  배귀남 ,  김석철 외 1명 대한설비공학회 학술발표대회논문집 1989.11 학술대회자료
클린룸의 상부 플레넘 설계를 위한 유동특성 실험
오명도 ,  배귀남 ,  김석철 외 1명 설비공학논문집 1989.11 학술저널

초록· 키워드

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The airflow characteristics in both the upper plenum and the clean space of clean room are investigated by measuring the pressure distribution of the upper plenum and the velocity profile in the clean space, at the various conditions of the supplied airflow rate, the volume of upper plenum and the air supply type. The performance of vertical air supply type and horizontal air supply type is analyzed in terms of the airflow uniformity which is frequently used in indicating the clean room performance, and the relations among the volume of upper plenum, the supplied airflow rate and the airflow uniformity are confirmed. The results of this experimental study can be applied to the designing of the upper plenum of clean room.

목차

ABSTRACT

1. 서론

2. 실험 시스템

3. 청정공간의 풍속분포 특성

4. 상부 플레넘의 압력분포 특성

5. 결론

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김영섭 ,  하만영 설비공학논문집 2008 .01

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