백색광 위상천이 간섭계를 위한 개선된 삼차원 형상 측정 방법

김경일; 이동열; 고윤호

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자료유형: 학술저널

저자정보: 김경일 (LIG넥스원) 이동열 (충남대학교) 고윤호 (충남대학교)

저널정보: 대한전자공학회 전자공학회논문지-SP 電子工學會論文誌第47卷 SP編第2號

발행연도: 2010.3

수록면: 51 - 60 (10page)

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본 논문에서는 백색광 위상천이 간섭계에서 향상된 3차원 형상 정보를 보다 빠르게 얻을 수 있는 새로운 방법을 제안한다. 백색광 위상천이 간섭계는 초정밀 제품의 형상 측정에 사용되는 유용한 방법이다. 첫째, 가시도 함수를 포함하는 간섭신호로부터 3차원 높이 정보를 신속하게 계산할 수 있는 가시도 유효 검출 구간 설정 방법을 제안한다. 둘째, 기존의 백색광 위상천이 간섭계에서 발생하는 전역 기울어짐 현상을 해결하기 위하여 바닥면 데이터 자동 추출 방법과 이를 이용한 최소 제곱 근사화 기반의 바닥 평면 추정 방법을 제안한다. 셋째, 높이의 변화가 큰 경계영역에서의 형상 왜곡인 bat-wing effect 를 제거하기 위한 적응 필터 방법을 제안한다. 실험을 통해 제안하는 방법이 기존의 백색광 위상천이 간섭법의 성능을 보다 향상시킴을 보인다.

#WLPSI #Interferometry #peak of the visibility #bat-wing effect

참고문헌 (10)

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1. [학술지(정기간행물)] - J. Schwider / 1983 / Digital Wave Front Measuring Interferometry : Some Systematic Error Suorces / Appl. Opt 22 : 3421 ~ 3432

2. [학술지(정기간행물)] - J. Schwider / 1989 / Phase Shifting Interferometry : Reference Phase Error Reduction / Appl. Opt 28 : 3889 ~ 3892

3. [학술지(정기간행물)] - K.G. Larkin / 1996 / Effective nonlinear algorithm for envelope detection in white light interferometry / J. Opt. Soc. Am. A 4

4. [학술지(정기간행물)] - Jonna Schmit / 2002 / High-Precision Shape Measurement by White-Light Interferometry with Real-Time Scanner Error Correction / Appl. Opt 41 (28)

5. [학술지(정기간행물)] - P. Sandoz / 1996 / An algorithm for profilometry by white-light phase-shifting interferometry / J. Mod. Opt 43

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이동열

소속기관 한경국립대학교

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고윤호

소속기관 충남대학교

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