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According to the growth of nano science and technology, ultra high precision stage and manipulator is recently required at a variety of equipment (SEM, FIB, AFM, STM etc.). In this study, 3-DOF parallel manipulator using the merits of parallel robot is developed, and inverse kinematics is studied for the parallel type manipulator. This manipulator using the pantograph type PZT is operated, and joints and links using the super-elastic material arecomposed. FEM analysis is performed in order to considerate reasonability to use super-elastic wire.

목차

Abstract
1. 서론
2. 기구학적 시스템 구조
3. 역기구학 해석
4. 매니퓰레이터 설계
5. 결론
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