마이크로 스텝핑 평판 스테이지의 외란 예측기의 개발

김정한

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자료유형: 학술저널

저자정보: 김정한

저널정보: 한국생산제조학회 한국생산제조학회지 한국공작기계학회 논문집 Vol.14 No.3

발행연도: 2005.6

수록면: 23 - 31 (9page)

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The purpose of this study is to design a disturbance observer for a micro-stepping stage to eliminate the disturbances from cables, friction, mass unbalance of the moving part, etc. The disturbance observer is designed for air-floating X-Y precision micro-stepping X-Y stage which widely used in stepper machine or semiconductor manufacturing systems. The micro-stepping X-Y stage has a weak point of the variation of characteristics with position locations, which caused by various disturbances. In this study, it will be described that a simple and high throughput disturbance observer algorithm improves the dynamic error and settling time of the micro-stepping stage.

#Disturbance observer #Micro stepping #Sawyer motor

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[학술지(정기간행물)] - / 2000 / "A Study on Micro-Step of 2-phase Hybrid Type Linear Stepping Motor" 495 (5) : 358 ~ 363

[학술지(정기간행물)] - / 1997 / "Development of high performance Microstepping Driver" 2 (3) : 37 ~ 43

[학술지(정기간행물)] - / 1991 / Disturbance Observer-Based Motion Control of Direct Drive Motors 6 : 553 ~ 559

[학술지(정기간행물)] - / 1996 / Characteristics of servo system using high order disturbance observer : 3252 ~ 3257

[학술지(정기간행물)] - / 2000 / An advanced disturbance rejection control for repeatable runout in disk drive systems 9 (1) : 60 ~ 67

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Jeoung Han Kim

소속기관 한밭대학교

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