메뉴 건너뛰기
.. 내서재 .. 알림
소속 기관/학교 인증
인증하면 논문, 학술자료 등을  무료로 열람할 수 있어요.
한국대학교, 누리자동차, 시립도서관 등 나의 기관을 확인해보세요
(국내 대학 90% 이상 구독 중)
로그인 회원가입 고객센터 ENG
주제분류
인문학
인문학 일반 역사학 철학 종교학 어문학 기타 인문학
사회과학
사회과학 일반 경영학 관광학 교육학 군사학 문헌정보학 법학 사회학 신문방송학 심리과학 정치외교학 지리학 행정학 경제학 무역학 인류학 기타 사회과학
자연과학
자연과학 일반 물리학 생물학 생활과학 수학·통계학 천문학 지구과학 화학 기타 자연과학
공학
공학 일반 건축공학 기계공학 산업공학 재료·에너지공학 전기전자공학 조선해양공학 화학공학 컴퓨터학 기타공학
의약학
의학 일반 간호학 수의학 약학 한의학 기초의학 임상의학 기타 의약학
농수해양학
농수해양학 일반 농학 수산학 식품과학 임학 축산학 해상운송학 기타 농수해양학
예술체육학
예술 일반 디자인 미술 미용 사진 음악학 의상 체육 공연매체예술 기타 예술체육학
복합학
학제간연구 과학기술학 뇌인지과학 기술정책 기타 복합학

ENG

추천
검색
질문

논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
저널정보
대한기계학회 대한기계학회 논문집 A권 대한기계학회논문집 A권 제31권 제12호
발행연도
2007.12
수록면
1,139 - 1,143 (5page)

이용수

표지
📌
연구주제
📖
연구배경
🔬
연구방법
🏆
연구결과
AI에게 요청하기
추천
검색
질문

초록· 키워드

오류제보하기
A simple method for the fabrication of 3D micro-nano hybrid patterns was presented. In conventional fabrication methods of the micro-nano hybrid patterns, micro-patterns were firstly fabricated and then nanopatterns were formatted on the micro-patterns. Moreover, these micro-nano hybrid patterns could be fabricated on the flat substrate. In this paper, we suggested the fabrication method of 3D micro-nano hybrid patterns using micro-indentation on the anodized aluminum substrate. Since diameter of the hemispherical nano-pattern can be controlled by electrolyte and applied voltage in the anodizing process, we can easily fabricated nano-patterns of diameter of 10㎚ to 300㎚. Nano-patterns were firstly formatted on the aluminum substrate, and then micro-patterns were fabricated by deforming the nano-patterned aluminum substrate. Hemispherical nano-patterns of diameter of 150㎚ were fabricated by anodizing process, and then micro-pyramid patterns of the side-length of 50㎛ were formatted on the nano-patterns using microindentation. Finally we successfully replicated 3D micro-nano hybrid patterns by hot-embossing process. 3D micro-nano hybrid patterns can be applied to nano-photonic device and nano-biochip application.
#Anodized Aluminum(양극산화 알루미늄) #Hemispherical Nano-Pattern(반구형상 나노 패턴) #Micro-Indentation(마이크로 인덴테이션) #Micro-Nano Hybrid Pattern(마이크로-나노 하이브리드 패턴)

목차

Abstract
1. 서론
2. 마이크로-나노 하이브리드 패턴 제작공정
3. 마이크로-나노 하이브리드 패턴 복제공정
4. 결론
후기
참고문헌

참고문헌 (13)

참고문헌 신청
, 1999 , Highly Ordered Two-Dimensional Carbon Nanotube Array 75 : 2047 ~ 2049 google schola , 2001 , Injection Molding of Components for Microsystems 7 : 99 ~ 102 google schola , 2007 , Rapid Prototyping of Microfluidic Chips in COC 17 : 333 ~ 341 google schola , 2004 , Implementation and Analysis of Polymeric Microstructure Replication by Micro Injection Molding 14 : 415 ~ 422 google schola , 2001 , Polymer Based Micro-Reactors 82 : 89 ~ 99 google schola

함께 읽어보면 좋을 논문

논문 유사도에 따라 DBpia 가 추천하는 논문입니다. 함께 보면 좋을 연관 논문을 확인해보세요!

이 논문의 저자 정보

이 논문과 함께 이용한 논문

양극산화 알루미늄을 이용한 고분자 나노 구조의 제조
이승우 ,  이상민 ,  함원식 외 1명 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2011 .10
마이크로어레이 데이터의 게놈수준 분석을 위한 퍼지 패턴 매칭에 의한 유전자 필터링
이선아 ,  이건명 ,  이승주 외 3명 한국지능시스템학회 논문지 2008 .08
마이크로플라즈마 스프레이에 의한 HA코팅의 밀착력에 관한 연구
문장원 ,  권정대 ,  권식철 외 4명 한국표면공학회 학술발표회 초록집 2009 .05
마이크로 인덴테이션 기법을 이용한 마이크로 피라미드 성형기술 개발
서대건 ,  유영은 ,  제태진 외 2명 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2006 .10
마이크로 패턴을 가진 초박육 사출성형의 성형성 개선
권오경 ,  윤재호 ,  박근 대한기계학회 논문집 A권 2007 .05

최근 본 자료

전체보기

댓글(0)

0

UCI(KEPA) : I410-ECN-0101-2009-550-016116849