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김한희 (한국기계연구원) 전은채 (한국기계연구원) 최대희 (한국기계연구원) 장웅기 (강원대학교) 박용민 (강원대학교) 제태진 (한국기계연구원) 최두선 (한국기계연구원) 김병희 (강원대학교) 서영호 (강원대학교)
저널정보
Korean Society for Precision Engineering Journal of the Korean Society for Precision Engineering Journal of the Korean Society for Precision Engineering Vol.32 No.1
발행연도
2015.1
수록면
63 - 68 (6page)

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Micro/nano patterns for optical concentration and diffusion have been studied in the various fields such as displays, optics, and sensors. Conventional micro patterns were continuous and linear shapes due to using linear-type light sources, however, recently non-continuous patterns have been applied as point sources are used for dot-type light sources such as LEDs and OLEDs. In this study, a hybrid machining technology combining an indentation machining method and an AAO process was developed for manufacturing the non-continuous micro patterns having nano patterns. First, mirror-like surfaces (R<SUB>a</SUB><20nm) of pure Aluminum substrates were obtained by optimizing cutting conditions. Then, The letter of ‘K’ consisting of the arrays of the micro patterns was manufactured by the indentation machining method which has a similar principle to indentation hardness testing. Finally, nano patterns were machined by AAO process on the micro patterns. Conclusively, a specific letter having nano-micro hybrid patterns was manufactured in this study.
#Indentation machining method (누름가공) #Anodic aluminum oxide (알루미늄 양극산화) #Micro pattern (마이크로 패턴) #Nano-micro hybrid pattern (나노-마이크로 복합패턴)

목차

1. 서론
2. 나노-마이크로 복합패턴 제작 방법
3. 누름가공을 이용한 마이크로 패턴 제작
4. AAO를 이용한 나노-마이크로 복합패턴 제작
5. 결론
REFERENCES

참고문헌 (12)

참고문헌 신청
Zhou, S. / 2012 / Improved Light Extraction Efficiency of Gan-Based Leds with Patterned Sapphire Substrate and Patterned Ito / Optics & Laser Technology 44(7):2302~2305 google schola Pudis, D. / 2013 / Effect of 2D Photonic Structure Patterned in the LED Surface on Emission Properties / Applied Surface Science 269:161~165 google schola Jeong, S. -M. / 2010 / Characteristic Enhancement of the Blue LED Chip by the Growth and Fabrication on Patterned Sapphire(0 0 0 1)Substrate / J. of Crystal Growth 312(2):258~262 google schola Cho, J. -Y. / 2012 / Light Extraction Efficiency Improvement in GaN-based Blue Light Emitting Diode with Two-Dimensional Nano-Cavity Structure / Thin Solid Films 521:115~118 google schola Ee, Y. -K. / 2010 / Abbreviated MOVPE nucleation of III-Nitride Light-Emitting Diodes on Nano-Patterned Sapphire / Journal of Crystal Growth 312(8):1311~1315 google schola

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