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대한기계학회 대한기계학회 춘추학술대회 대한기계학회 창립 60주년 기념 추계학술대회 강연 및 논문 초록집
발행연도
2005.11
수록면
218 - 223 (6page)

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We developed two local thermal property measurement schemes using a thermoelectric SThM probe with sub-micron resolution, laser heated probe measurement (DC mode) and AC current heated probe measurement (AC mode). To understand and evaluate the two measurement schemes, we analyzed the heat transfer phenomena between thermocouple probe and sample using 1-D heat diffusion model. AC mode performed better in localized thermal property measurement. This is because the conduction through air of AC mode turns out to be less than that of DC mode. Using the 1-D heat diffusion model we predicted the influence of the thickness of metal film deposited on the probe and the effect of vacuum on the performance of SThM probe.
#Scanning Thermal Microscope(주사탐침열현미경) #Thermal property(열물성)

목차

Abstract
1. 서론
2. 1차원 MODELING
3. 해석 결과
4. 결론
참고문헌

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