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대한기계학회 대한기계학회 춘추학술대회 대한기계학회 2009년도 마이크로/나노공학부문 춘계학술대회 논문집
발행연도
2009.5
수록면
213 - 214 (2page)

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We designed and fabricated a noble diamond thermoelectric probe which can measure the thermoelectric properties on semiconductor surfaces. To measure the thermoelectric property of a semiconductor, not only the temperature but also the thermoelectric voltage at the tip-sample contact should be measured simultaneously. However, previous Scanning Thermal Microscopy (SThM) probes do not ensure the electrical contact with silicon because the native oxide exists ^_@span style=color:#999999 ^_# ... ^_@/span^_#^_@a href=javascript:; onclick=onClickReadNode('NODE01241445');fn_statistics('Z354','null','null'); style='color:#999999;font-size:14px;text-decoration:underline;' ^_#전체 초록 보기^_@/a^_#
#Diamond thermoelectric probe(다이아몬드 열전 탐침) #Semiconductor(반도체) #Thermoelectric property(열전 물성)

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