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학술저널
저자정보
안형준 (서울대학교) 장인배 (강원대학교) 한동철 (서울대학교)
저널정보
Korean Society for Precision Engineering Journal of the Korean Society for Precision Engineering 한국정밀공학회지 Vol.14 No.11
발행연도
1997.11
수록면
110 - 117 (8page)

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#capacitive displacement sensor(정전용량 변위센서) #charge density method(전하밀도법) #sensitivity(민감도) #sensor design parameters(센서설계인자)

목차

ABSTRACT
1. 서론
2. 전하밀도법에의한 정전용량센서 해석
3. 원형평면 정전용량센서 변위민감도 실험
4. 결론
참고문헌

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