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저자정보
김진근 (부산대학교) 최수창 (부산대학교) 이상민 (부산대학교) 이득우 (부산대학교)
저널정보
한국기계가공학회 한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집 한국기계가공학회 2010년도 춘계학술대회 논문집
발행연도
2010.6
수록면
137 - 138 (2page)

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이 논문의 연구 히스토리 (2)

2010

광학적 변위증폭구조를 이용한 Nano stage의 변위 측정 연구
김진근 ,  최수창 ,  이상민 외 1명 한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집 2010.06 학술대회자료
LASER의 반사와 변위증폭구조를 이용한 Nano stage의 변위 측정 연구
김진근 ,  최수창 ,  김용우 외 1명 한국생산제조학회 학술발표대회 논문집 2010.04 학술대회자료

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#nano stage #magnified displacement system #PSPD

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마이크로 팩토리 검사시스템용 자기측정 나노 스테이지개발
최수창 ,  김용우 ,  박정우 외 1명 한국생산제조학회 학술발표대회 논문집 2006 .05
변위증폭형 변위측정계가 포함된 나노스테이지
최수창 ,  김용우 ,  박정우 외 1명 한국생산제조학회 학술발표대회 논문집 2007 .05
광/자기 변위센서를 적용한 전자기 구동형 flexure hinge 스테이지
이상헌 대한기계학회 춘추학술대회 2005 .11

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