산소이온빔에 의한 Si/Ge 다층박막의 SIMS 깊이분포도 분석에서 계면에서의 비정상적 신호 변화에 대한 연구

장종식 ,  이은경 ,  김경중 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2009 .08

SIMS을 이용한 Si/Ge MultiLayer 두께 측정 방법

이은경 ,  장종식 ,  김경중 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2009 .08

신규 Ge precursor를 이용한 Ge 박막 및 GST 박막 제조와 특성 연구

한성원 ,  정재선 ,  성기환 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

2009 .08

Poly - Si0.4Ge0.6 박막에서의 ESR 측정

윤인호 ,  양원규 ,  김선숙 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

1998 .07

Chemical Ssolution Depisition 방법을 이용한 BiFeO₃/Pb(Zr_0.52Ti_0.48)O₃ 다층박막의 전기적 특성에 대한 연구

차정옥 ,  안정선 ,  이광배

한국진공학회 학술발표회초록집

2009 .08

Ge / Si(111)면에서 중간금속이 Si, Ge Epitaxial 성장에 미치는 영향

곽호원 ,  엄창민 ,  박동수 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

1992 .07

As / Si 초 다층박막에서의 이차이온질량분석법의 정량 및 깊이 분포 측정

강희재 ,  조성부 ,  손현경 외 5명

한국진공학회 학술발표회초록집

2002 .02

The effects of low temperature Ge buffer layers on the growth of pure Ge on Si(001)

신건욱 ,  양창재 ,  이상수 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2010 .02

Epitaxial Growth of Ge on Si(100) and Si(111) Surfaces

강윤호 ,  국양

Applied Science and Convergence Technology

1993 .06

Ge 층을 증착한 Si 기판에서의 Ge Nanowire에 대한 특성 연구

정재훈 ,  김유리 ,  윤현식 외 6명

한국진공학회 학술발표회초록집

2009 .08

이온빔 스퍼터링과 열처리를 이용해 제작한 Ge 나노결정/SiO₂ 다층박막의 특성 연구

홍승휘 ,  황성원 ,  이도규 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2007 .08

Can the S-K growth mode be applied to the flat high - index Si surfaces? : Ge / Si(5 5 12)

리혜정 ,  강영화 ,  김희동 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2005 .02

CVD - W/p - Si0.83Ge0.17 / Si(001)의 전기적 및 계면적 특성에 관한 연구

장영철 ,  신동욱 ,  김기수 외 5명

한국진공학회 학술발표회초록집

2000 .07

Epitaxial growth of Ge on Si(114) - 2×1

강영화 ,  이혜정 ,  김희동 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2005 .02

Direct determination of surface stress during Ge growth on Si(111)

Hidehito Asaoka

한국진공학회 학술발표회초록집

2008 .02

D - SIMS를 이용한 초박막중의 불순물 분석

이영진 ,  정칠성

한국진공학회 학술발표회초록집

1999 .02

Optical Characteristics of Ge^0.99Sn^0.01/Si and Ge/Si Using Photoreflectance Spectroscopy

Hyun-Jun Jo ,  So Mo Geun ,  Jong Su Kim 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

2014 .02

Low energy SIMS를 이용한 깊이분해능 향상

손현경 ,  문대원 ,  김현경 외 1명

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2001 .02

Delta Doped Multi Si Layer의 SIMS 깊이 분해능 연구

원정연 ,  강희재 ,  김경중 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

1998 .07