Epitaxial $SnO_2$ Thin Films on Sapphire($1\bar{1}02$) and ($11\bar{2}0$) Deposited by Atomic Layer Deposition

Kim ,  Dai-Hong ,  Hong 외 1명

한국결정학회 학술연구발표회

2007 .01

Deposition and characterization of Ti - Al - N thin films deposited by plasma - assisted atomic layer deposition

Yong Ju Lee ,  Sang-Won Kang

한국진공학회 학술발표회초록집

2002 .06

Low Temperature Encapsulation-Layer Fabrication of Organic-Inorganic Hybrid Thin Film by Atomic Layer Deposition-Molecular Layer Deposition

김세준 ,  김홍범 ,  성명모

한국진공학회 학술발표회초록집

2013 .02

Atomic Layer deposition를 이용한 MoOx 박막 증착의 두께 변화 관찰

정민지

한국진공학회 학술발표회초록집

2018 .02

Room Temperature Deposition of ZrO₂ thin film by using UV - enhanced Atomic Layer Deposition

강문철 ,  성명모

한국진공학회 학술발표회초록집

2005 .02

Atomic Layer Deposited Metal Thin Films on T-shirts

Han-Bo-Ram Lee

한국진공학회 학술발표회초록집

2017 .08

Fabrication of Conductive ZnO Thin Filn Using UV-Enhanced Atomic Layer Deposition

양다솜 ,  김홍범 ,  성명모

한국진공학회 학술발표회초록집

2012 .08

Effects of Annealing of Al2O3 Layer on Passivation Properties by Plasma Assisted Atomic Layer Deposition

송세영 ,  장효식 ,  송희은

한국진공학회 학술발표회초록집

2013 .02

UV-enhanced Atomic Layer Deposition of Al2O3 Thin Film

윤관혁 ,  성명모

한국진공학회 학술발표회초록집

2011 .08

Plasma Enhanced Atomic Layer Deposition 기술을 이용한 Al₂O₃와 ZrO₂ 박막의 증착 및 특성 연구

윤선진 ,  임정욱 ,  이진호

한국진공학회 학술발표회초록집

2004 .08

Application of Atomic Layer Deposition to Solid Oxide Fuel Cells Based on Nanoscale Electrode Modification

Jiwon Oh ,  Heesu Hwang ,  Seungmuk Bae 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2018 .08

Precise control of electronic properties of graphene using n-doping method via atomic layer deposition

박진선 ,  성명모

한국진공학회 학술발표회초록집

2017 .02

The effect of back electrode on electric properties of SnS thin film using atomic layer deposition

Hu weiguang ,  Hyo Sik Chang

한국진공학회 학술발표회초록집

2018 .02

Atomic Layer Deposition for Energy Devices and Environmental Catalysts

Young Dok Kim

한국진공학회 학술발표회초록집

2013 .08

In-situ Synchrotron Radiation Photoemission Spectroscopy Study of Property Variation of Ta₂O₅ Film during the Atomic Layer Deposition

Seung Youb Lee ,  Cheolho Jeon ,  Seok Hwan Kim 외 7명

한국진공학회 학술발표회초록집

2014 .02

Deposition and characterization of inorganic thin films by using UV-enhanced Atomic Layer Deposition

정진원 ,  성명모

한국진공학회 학술발표회초록집

2015 .02

Atomic Layer Deposition for Display Applications

Jin-Seong Pa ,  k

한국진공학회 학술발표회초록집

2013 .08

PEALD과 ALD을 이용한 다공성 기판의 증착 특성 비교

강고루 ,  차덕준 ,  김진태 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2014 .02

Atomic Layer Deposition에 의해 제조된 Cobalt Oxide 박막의 특성

김재경 ,  최규하 ,  박광민 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2010 .02

The study for surface passivation effects of tunnel oxide by using atomic layer deposition-Al₂O₃ for crystalline silicon solar cells

Ham Cho Rom Cha ,  Young Joon Cho ,  Hyo Sik Chang

한국진공학회 학술발표회초록집

2017 .02