합금 타겟을 사용한 SOI 기판에서의 Ni-Silicide 연구

김지영 ,  김초롱 ,  임재영 외 7명

한국진공학회 학술발표회초록집

2007 .02

SOI를 이용한 Non - classical Nano - CMOS 소자 기술

조원주 ,  안창근 ,  임기주 외 4명

한국진공학회 학술발표회초록집

2004 .08

CMOS 소자 응용을 위한 Plasma doping과 Silicide 형성

최장훈 ,  도승우 ,  서영호 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2010 .02

SOI 구조의 C - V 특성 분석

배영호 ,  이광철 ,  정욱진 외 4명

한국진공학회 학술발표회초록집

1994 .02

Silicon carbide 나노입자를 이용한 SOI 구조의 비휘발성 메모리 소자의 전기적특성 연구

이태희 ,  이동욱 ,  김은규 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2008 .08

The Effects of Ta on the Formation of Ni Silicide in Ni - Ta / Si Alloy System

도기훈 ,  이동원 ,  서동찬 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2004 .08

Effect of hydrogen in Ni-silicide with Iodine Catalyst Deposited Ni Film by using Atomic Layer Deposition

강희성 ,  하종봉 ,  김기원 외 5명

한국진공학회 학술발표회초록집

2010 .02

화학적으로 형성된 금속 산화물 나노 입자를 이용한 3차원 SOI 구조의 비휘발성 메모리 소자의 전기적 특성 연구

이동욱 ,  김선필 ,  이태희 외 4명

한국진공학회 학술발표회초록집

2007 .08

SOI 기판을 이용한 back-gated FET 센서의 pH 농도검출에 관한 연구

박진권 ,  김민수 ,  조원주

한국진공학회 학술발표회초록집

2010 .08

정렬된 n-SnO₂ 나노선과 p-Si 기판으로 구성된 p-n 접합 소자의 광 특성

민경훈 ,  신건철 ,  하정숙

한국진공학회 학술발표회초록집

2010 .02

AEM을 이용한 (Ni, Ta) - Silicide 박막의 열적안정성에 관한 연구

이재욱 ,  강한별 ,  양철웅

한국진공학회 학술발표회초록집

2004 .02

SOI 기판 위에 SONOS 구조를 가진 플래쉬 메모리 소자의 subthreshold 전압 영역의 전기적 성질

유주태 ,  김현우 ,  유주형 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2010 .08

SOI 특성 분석을 위한 Pseudo - MOSFET 측정용 소자 제작에 있어 식각공정이 미치는 영향과 대책

권경욱 ,  이종현 ,  이봉희 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2004 .08

나노 바이오 소자 제작을 위한 나노 구조물 형성에 관한 연구

조승한 ,  노용한

한국진공학회 학술발표회초록집

2008 .08

Effect of Surface Roughness on the Formation of Low Resistance Ni-Silicide from Atomic Layer Deposited Nickel Film

방진배 ,  강희성 ,  하종봉 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2009 .08

Ni Silicide Formation and the Crystalline Silicion Film Growth

김준동 ,  지상원 ,  박윤창 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2010 .08

60 ㎚ 와 20 ㎚ 두께의 수소화된 비정질 실리콘에 따른 저온 니켈실리사이드의 물성 변화

김종률 ,  박종성 ,  최용윤 외 1명

Applied Science and Convergence Technology

2008 .11

In-situ heating TEM을 활용한 Ni/6H-SiC의 저온(550 ℃) 반응 및 탄소 거동 분석

권예나 ,  오진수 ,  백승문 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2017 .02